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公开(公告)号：TWI489526B
公开(公告)日：2015-06-21
申请号：TW099114330
申请日：2010-05-05
Applicant: ASM美洲公司 , ASM AMERICA, INC.
Inventor： 阿嘉瓦 拉凡德K , AGGARWAL, RAVINDER K. , 哈洛 羅伯C , HARO, ROBERT C.
IPC: H01L21/205 , C23C16/52 , G01K7/04 , G05D23/22
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