公开(公告)号：TWI564678B

公开(公告)日：2017-01-01

申请号：TW104110325

申请日：2015-03-30

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V. ,  ASML控股公司 ,  ASML HOLDING N. V.

Inventor： 莫依司特 比爾愛曲 ,  MOEST, BEARRACH ,  戴爾瑪斯托 彼德A ,  DELMASTRO, PETER A. ,  昂夫里 喬漢斯 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  凡 德 維倫 安卓雅斯 馬汀納斯 ,  VAN DER WIELEN, ADRIANUS MARTINUS ,  華德 克里斯多弗 查爾斯 ,  WARD, CHRISTOPHER CHARLES

IPC: G03F7/26 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/70616 ,  G01B11/14 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70775 ,  G03F7/70783 ,  G03F7/70875

公开(公告)号：TWI408514B

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：TW100106082

申请日：2011-02-23

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 昂夫里 喬漢斯 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  德 賈格 皮耶特 威廉 荷曼 ,  DE JAGER, PIETER WILLEM HERMAN ,  范 茲維 愛爾恩 約翰 ,  VAN ZWET, ERWIN JOHN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70366 ,  G03F7/70391 ,  G03F7/704 ,  G03F7/70516 ,  G03F7/70558

公开(公告)号：TWI557514B

公开(公告)日：2016-11-11

申请号：TW100106098

申请日：2011-02-23

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 范 茲維 愛爾恩 約翰 ,  VAN ZWET, ERWIN JOHN ,  德 賈格 皮耶特 威廉 荷曼 ,  DE JAGER, PIETER WILLEM HERMAN ,  昂夫里 喬漢斯 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  佛瑞茲 艾瑞克 克里斯丁 ,  FRITZ, ERIK CHRISTIAAN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/704 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70391

公开(公告)号：TWI457724B

公开(公告)日：2014-10-21

申请号：TW097120974

申请日：2008-06-05

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 蘇珊L 奧爾 瓊吉皮爾 ,  AUER-JONGEPIER, SUZAN L. ,  喬漢斯 昂夫里 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  彼托斯R 巴特瑞 ,  BARTRAY, PETRUS R. ,  柏納度A J 路堤惠斯 ,  LUTTIKHUIS, BERNARDUS A. J. ,  倫得T 普拉格 ,  PLUG, REINDER T. ,  赫柏M 賽吉爾 ,  SEGERS, HUBERT M.

IPC: G03F7/40 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67178 ,  H01L21/67109

公开(公告)号：TWI438579B

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：TW100106088

申请日：2011-02-23

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 穆可其司 沃特 法蘭司 威廉 ,  MULCKHUYSE, WOUTER FRANS WILLEM ,  德 賈格 皮耶特 威廉 荷曼 ,  DE JAGER, PIETER WILLEM HERMAN ,  昂夫里 喬漢斯 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  范 茲維 愛爾恩 約翰 ,  VAN ZWET, ERWIN JOHN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70391 ,  G03F7/70558

公开(公告)号：TWI427437B

公开(公告)日：2014-02-21

申请号：TW100115507

申请日：2011-05-03

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 昂夫里 喬漢斯 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  戴柯爾 亞伯特 ,  DEKKER, ALBERT ,  史必迪克 喬漢那斯 佩卓士 法蘭希庫斯 ,  SPIERDIJK, JOHANNUS PETRUS FRANSISCUS ,  迪 曼 漢卓克 ,  DE MAN, HENDRIK

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70916 ,  G03F7/70383 ,  G03F7/70391 ,  G03F7/704 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70883

公开(公告)号：TWI592767B

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：TW103105692

申请日：2014-02-20

Applicant: ASML控股公司 ,  ASML HOLDING N.V. ,  ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 賽伯斯 科恩 ,  CUYPERS, KOEN ,  迪 安得烈 歐力拉 瑪切洛 亨利克 ,  DE ANDRADE OLIVEIRA, MARCELO HENRIQUE ,  瑞米 瑪里努斯 珍 ,  REMIE, MARINUS JAN ,  席恩 查泰博 ,  SINGH, CHATTARBIR ,  凡 柏克哈文 羅倫堤斯 約翰納斯 安卓那斯 ,  VAN BOKHOVEN, LAURENTIUS JOHANNES ADRIANUS ,  范 戴 凡 亨利可思 安妮塔 橋瑟夫 威西莫司 ,  VAN DE VEN, HENRICUS ANITA JOZEF WILHEMUS ,  風賽卡 裘尼爾 荷西 倪爾頓 ,  FONSECA JUNIOR, JOSE NILTON ,  凡 波克特 法蘭克 喬漢斯 賈柏斯 ,  VAN BOXTEL, FRANK JOHANNES JACOBUS ,  波本克 丹尼爾 奈森 ,  BURBANK, DANIEL NATHAN ,  洛卜史塔 艾瑞克 羅勒夫 ,  LOOPSTRA, ERIK ROELOF ,  昂夫里 喬漢斯 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  史雀司特 馬克 喬瑟夫 ,  SCHUSTER, MARK JOSEF ,  范 巴利高伊 羅博特 尼可丹 賈庫巴 ,  VAN BALLEGOIJ, ROBERTUS NICODEMUS JACOBUS ,  華德 克里斯多弗 查爾斯 ,  WARD, CHRISTOPHER CHARLES ,  威斯特雷肯 禎 史蒂芬 克里斯丁 ,  WESTERLAKEN, JAN STEVEN CHRISTIAAN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70933 ,  G03F7/70358 ,  G03F7/70633 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70866

公开(公告)号：TWI590007B

公开(公告)日：2017-07-01

申请号：TW104143219

申请日：2015-12-22

Applicant: ASML控股公司 ,  ASML HOLDING N. V. ,  ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 凡圖瑞譨 湯瑪士 ,  VENTURINO, THOMAS ,  史亞茲 傑佛瑞 ,  SCHULTZ, GEOFFREY ,  蓋伯特 丹尼爾 尼可拉斯 ,  GALBURT, DANIEL NICHOLAS ,  波本克 丹尼爾 奈森 ,  BURBANK, DANIEL NATHAN ,  戴爾樸爾透 山提亞哥E ,  DELPUERTO, SANTIAGO E. ,  沃格 赫曼 ,  VOGEL, HERMAN ,  昂夫里 喬漢斯 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  凡 柏克哈文 羅倫堤斯 約翰納斯 安卓那斯 ,  VAN BOKHOVEN, LAURENTIUS JOHANNES ADRIANUS ,  華德 克里斯多弗 查爾斯 ,  WARD, CHRISTOPHER CHARLES

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70875

公开(公告)号：TW201635041A

公开(公告)日：2016-10-01

申请号：TW104143219

申请日：2015-12-22

Applicant: ASML控股公司 ,  ASML HOLDING N. V. ,  ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 凡圖瑞譨 湯瑪士 ,  VENTURINO, THOMAS ,  史亞茲 傑佛瑞 ,  SCHULTZ, GEOFFREY ,  蓋伯特 丹尼爾 尼可拉斯 ,  GALBURT, DANIEL NICHOLAS ,  波本克 丹尼爾 奈森 ,  BURBANK, DANIEL NATHAN ,  戴爾樸爾透 山提亞哥E ,  DELPUERTO, SANTIAGO E. ,  沃格 赫曼 ,  VOGEL, HERMAN ,  昂夫里 喬漢斯 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  凡 柏克哈文 羅倫堤斯 約翰納斯 安卓那斯 ,  VAN BOKHOVEN, LAURENTIUS JOHANNES ADRIANUS ,  華德 克里斯多弗 查爾斯 ,  WARD, CHRISTOPHER CHARLES

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70875

Abstract: 本發明係關於一種藉由供應一非均勻氣流而冷卻一圖案化器件之裝置、系統及方法。該裝置及系統包括橫越該圖案化器件之第一表面供應一氣流的一氣體供應結構。該氣體供應結構包括經特殊地組態以產生一非均勻氣流分佈之一氣體供應噴嘴。將一較大體積或速度之該氣流導向至該圖案化器件之所要部分。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一种借由供应一非均匀气流而冷却一图案化器件之设备、系统及方法。该设备及系统包括横越该图案化器件之第一表面供应一气流的一气体供应结构。该气体供应结构包括经特殊地组态以产生一非均匀气流分布之一气体供应喷嘴。将一较大体积或速度之该气流导向至该图案化器件之所要部分。

公开(公告)号：TWI533094B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：TW100106086

申请日：2011-02-23

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 昂夫里 喬漢斯 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  范 茲維 愛爾恩 約翰 ,  VAN ZWET, ERWIN JOHN ,  克佩羅曼斯 喬漢那 法蘭西斯可司 阿若瑟斯 ,  KOPPELMANS, JOHANNES FRANCISCUS ALOYSIUS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H03L7/08

CPC classification number: G03F7/704 ,  G03F7/70391