公开(公告)号：TWI534555B

公开(公告)日：2016-05-21

申请号：TW100130158

申请日：2011-08-23

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 洛卜史塔 艾瑞克 羅勒夫 ,  LOOPSTRA, ERIK ROELOF ,  史溫克斯 吉瑞德斯 哈柏特斯 彼佐斯 瑪利亞 ,  SWINKELS, GERARDUS HUBERTUS PETRUS MARIA ,  柏曼 艾瑞克 皮楚斯 ,  BUURMAN, ERIK PETRUS ,  史坦姆 烏維 布魯諾 海尼 ,  STAMM, UWE BRUNO HEINI

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

CPC classification number: G03F7/70033 ,  B23K26/0643 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/7055 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/2308 ,  H05G2/001 ,  H05G2/008

公开(公告)号：TW201316842A

公开(公告)日：2013-04-16

申请号：TW101132596

申请日：2012-09-06

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 凡 沙特 珍 伯納德 波萊奇莫斯 ,  VAN SCHOOT, JAN BERNARD PLECHELMUS ,  白尼 凡丁 葉弗真葉米希 ,  BANINE, VADIM YEVGENYEVICH ,  亞庫寧 安卓 米克哈洛維奇 ,  YAKUNIN, ANDREI MIKHAILOVICH ,  可魯威爾 荷曼諾斯 喬漢思 馬利亞 ,  KREUWEL, HERMANUS JOHANNES MARIA ,  莫斯 喬漢斯 哈博特 喬瑟菲那 ,  MOORS, JOHANNES HUBERTUS JOSEPHINA ,  佛利恩斯 歐勒夫 華德瑪 佛勒迪米爾 ,  FRIJNS, OLAV WALDEMAR VLADIMIR ,  史溫克斯 格爾達斯 哈柏特斯 彼佐斯 瑪利亞 ,  SWINKELS, GERARDUS HUBERTUS PETRUS MARIA ,  凡德海倫 艾維歐 ,  VANDERHALLEN, IVO ,  史坦姆 烏維 布魯諾 海尼 ,  STAMM, UWE BRUNO HEINI

IPC: H05G2/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70058 ,  G03F7/70033 ,  H05G2/005 ,  H05G2/008

Abstract: 一種輻射源，其具有一燃料串流產生器，該燃料串流產生器產生一燃料串流且沿著朝向一電漿形成部位之一軌跡引導該燃料串流。一預脈衝雷射輻射總成在該電漿形成部位處將一第一雷射輻射光束引導於該燃料串流處以產生一經修改燃料目標。一主脈衝雷射輻射總成在該電漿形成部位處將一第二雷射輻射光束引導於該經修改燃料目標處以產生一輻射產生電漿。一收集器收集該輻射且沿著該輻射源之一光軸引導該輻射。該第一雷射輻射光束係實質上沿著該光軸被引導朝向該燃料串流。

Abstract in simplified Chinese: 一种辐射源，其具有一燃料串流产生器，该燃料串流产生器产生一燃料串流且沿着朝向一等离子形成部位之一轨迹引导该燃料串流。一预脉冲激光辐射总成在该等离子形成部位处将一第一激光辐射光束引导于该燃料串流处以产生一经修改燃料目标。一主脉冲激光辐射总成在该等离子形成部位处将一第二激光辐射光束引导于该经修改燃料目标处以产生一辐射产生等离子。一收集器收集该辐射且沿着该辐射源之一光轴引导该辐射。该第一激光辐射光束系实质上沿着该光轴被引导朝向该燃料串流。

公开(公告)号：TWI506379B

公开(公告)日：2015-11-01

申请号：TW099132719

申请日：2010-09-27

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 路普司撮 愛瑞克 羅依洛夫 ,  LOOPSTRA, ERIK ROELOF ,  巴尼 瓦地姆 耶夫根葉夫契 ,  BANINE, VADIM YEVGENYEVICH ,  斯溫科斯 吉拉爾杜斯 優柏圖司 佩圖斯 瑪麗亞 ,  SWINKELS, GERARDUS HUBERTUS PETRUS MARIA ,  佩克得爾 史文 ,  PEKELDER, SVEN ,  拉倍特司其 狄密特瑞 ,  LABETSKI, DZMITRY ,  史坦姆 烏維 布魯諾 海尼 ,  STAMM, UWE BRUNO HEINI ,  帕特羅 威廉N ,  PARTLO, WILLIAM N.

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70933 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70925 ,  H05G2/003 ,  H05G2/005