公开(公告)号：KR20180066147A

公开(公告)日：2018-06-18

申请号：KR20187012827

申请日：2016-09-21

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： YPMA ALEXANDER ,  DECKERS DAVID FRANS SIMON ,  BIJNEN FRANCISCUS GODEFRIDUS CASPER ,  VAN HAREN RICHARD JOHANNES FRANCISCUS ,  KOU WEITIAN

IPC: G05B19/418 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/70616 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G03F7/70641 ,  G03F9/7092 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

Abstract: 일련의웨이퍼들(W(i))이상이한상황들에서처리되는리소그래피공정에서, 객체데이터(ODAT/PDAT)가수신되고, 이는예를들어앞서처리된웨이퍼들의세트에서측정된오버레이를나타내는성능데이터(PDAT)일수 있다. 상황데이터(CDAT)는세트내의웨이퍼들사이에서변동하는리소그래피공정의파라미터들을나타낸다. 성능데이터(410)의주성분분석또는다른통계적분석에의해, 웨이퍼들의세트가 2 이상의서브세트들(412)로분할된다. 웨이퍼들의제 1 분할및 상황데이터가제 1 분할과가장강하게상관하는것으로관찰되는리소그래피공정의파라미터들인 1 이상의관련상황파라미터들(418)을식별하는데 사용된다(414). 리소그래피장치는식별된관련상황파라미터들을참조하여새로운웨이퍼들에대해제어된다(400). 피드백제어및 피드포워드제어를이용한실시예들이설명된다.