公开(公告)号：KR20200138328A

公开(公告)日：2020-12-09

申请号：KR20207031052

申请日：2019-03-04

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BASTANI VAHID ,  YPMA ALEXANDER

IPC: G03F7/20 ,  G05B19/418

Abstract: 제조프로세스의프로세스단계를거치는기판과연관된데이터를그룹화하기위한방법이개시된다. 이러한방법은, 프로세스단계의대상이되기전의기판과연관된제 1 데이터를획득하는단계, 및프로세스단계의대상이된 후의기판과연관된제 2 데이터의복수개의세트를획득하는단계를포함하고, 제 2 데이터의각각의세트는제 1 데이터의특성의상이한값과연관된다. 제 2 데이터의세트들사이의거리의척도를기술하는거리메트릭이결정되고; 상기거리메트릭의속성에기반하여제 2 데이터가그룹화된다.

公开(公告)号：KR20180066147A

公开(公告)日：2018-06-18

申请号：KR20187012827

申请日：2016-09-21

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： YPMA ALEXANDER ,  DECKERS DAVID FRANS SIMON ,  BIJNEN FRANCISCUS GODEFRIDUS CASPER ,  VAN HAREN RICHARD JOHANNES FRANCISCUS ,  KOU WEITIAN

IPC: G05B19/418 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/70616 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G03F7/70641 ,  G03F9/7092 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

Abstract: 일련의웨이퍼들(W(i))이상이한상황들에서처리되는리소그래피공정에서, 객체데이터(ODAT/PDAT)가수신되고, 이는예를들어앞서처리된웨이퍼들의세트에서측정된오버레이를나타내는성능데이터(PDAT)일수 있다. 상황데이터(CDAT)는세트내의웨이퍼들사이에서변동하는리소그래피공정의파라미터들을나타낸다. 성능데이터(410)의주성분분석또는다른통계적분석에의해, 웨이퍼들의세트가 2 이상의서브세트들(412)로분할된다. 웨이퍼들의제 1 분할및 상황데이터가제 1 분할과가장강하게상관하는것으로관찰되는리소그래피공정의파라미터들인 1 이상의관련상황파라미터들(418)을식별하는데 사용된다(414). 리소그래피장치는식별된관련상황파라미터들을참조하여새로운웨이퍼들에대해제어된다(400). 피드백제어및 피드포워드제어를이용한실시예들이설명된다.

公开(公告)号：NL2013417A

公开(公告)日：2015-04-07

申请号：NL2013417

申请日：2014-09-05

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： YPMA ALEXANDER ,  MENGER JASPER ,  DECKERS DAVID ,  HAN DAVID ,  KOOPMAN ADRIANUS ,  LYULINA IRINA ,  MIDDLEBROOKS SCOTT ,  HAREN RICHARD ,  WILDENBERG JOCHEM

IPC: G03F7/20

Abstract: In a lithographic process, product units such as semiconductor wafers are subjected to lithographic patterning operations and chemical and physical processing operations. Alignment data or other measurements are made at stages during the performance of the process to obtain object data representing positional deviation or other parameters measured at points spatially distributed across each unit. This object data is used to obtain diagnostic information by performing a multivariate analysis to decompose a set of vectors representing the units in the multidimensional space into one or more component vectors. Diagnostic information about the industrial process is extracted using the component vectors. The performance of the industrial process for subsequent product units can be controlled based on the extracted diagnostic information.

公开(公告)号：NL2013249A

公开(公告)日：2015-02-23

申请号：NL2013249

申请日：2014-07-24

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHMITT-WEAVER EMIL ,  HENKE WOLFGANG ,  HOOGENBOOM THOMAS ,  IZIKSON PAVEL ,  LUEHRMANN PAUL ,  SLOTBOOM DAAN ,  STAECKER JENS ,  YPMA ALEXANDER

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：DE112019000022T5

公开(公告)日：2019-10-24

申请号：DE112019000022

申请日：2019-01-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： YPMA ALEXANDER ,  SONNTAG DAG ,  MOS CORNELIS EVERHARDUS ,  BASTANI VAHID ,  CEKLI ERGUN HAKKI ,  LIN CHENXI

IPC: G06N5/00 ,  G03F7/20

Abstract: Zu verarbeitende Substrate (402) werden auf der Basis von Vorverarbeitungsdaten (404), die mit Substraten vor einem Prozessschritt assoziiert sind, aufgeteilt. Die Daten werden unter Verwendung einer Aufteilungsregel (410, 412, 414) aufgeteilt und die Substrate werden in Übereinstimmung mit Teilsätzen der Daten, die durch die Aufteilung erhalten wurden, in Teilsätze (G1-G4) aufgeteilt. Spezifisch für jeden Teilsatz werden Korrekturen (COR1-COR4) angewandt. Die Aufteilungsregel wird unter Verwendung einer Entscheidungsbaumanalyse an einem Trainingssatz Substrate (502) erhalten (Fig. 5). Die Entscheidungsbaumanalyse verwendet Vorverarbeitungsdaten (256, 260), die mit den Trainingssubstraten assoziiert sind, bevor diese verarbeitet wurden, und Nachverarbeitungsdaten (262), die mit den Trainingssubstraten assoziiert sind, nachdem diese dem Prozessschritt unterzogen wurden. Die Aufteilungsregel (506), die den Entscheidungsbaum definiert, wird aus einer Vielzahl von Aufteilungsregeln (512) auf der Basis eines Charakteristikums von Teilsätzen der Nachverarbeitungsdaten ausgewählt. Die assoziierten Korrekturen (508) werden implizit zur gleichen Zeit erhalten.

公开(公告)号：NL2011687A

公开(公告)日：2014-06-17

申请号：NL2011687

申请日：2013-10-29

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHMITT-WEAVER EMIL ,  BOON EDUARDUS ,  HENKE WOLFGANG ,  KEA MARC ,  LUEHRMANN PAUL ,  SLOTBOOM DAAN ,  DAMME JEAN-PHILIPPE ,  YPMA ALEXANDER

IPC: G03F7/20