公开(公告)号：KR20200139840A

公开(公告)日：2020-12-14

申请号：KR20207034578

申请日：2017-04-20

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SU JING ,  ZOU YI ,  LIN CHENXI ,  HUNSCHE STEFAN ,  JOCHEMSEN MARINUS ,  LU YEN WEN ,  CHEONG LIN LEE

IPC: G03F7/20 ,  G06F30/398 ,  G06K9/62 ,  G06T7/00

Abstract: 본명세서에서는, 기계학습모델을이용하여, 디자인레이아웃으로부터핫스폿을식별하거나, 디자인레이아웃내의패턴이결함있는지를예측하는다양한방법들이개시된다. 본명세서에개시된예시적인방법은디바이스제조공정에서의복수의공정조건들하에서각각핫스폿들의성능의특성들의세트들을각각얻는단계; 핫스폿들각각에대하여공정조건들각각에대해, 그공정조건하에서의특성들에기초하여, 그핫스폿이결함있는지를결정하는단계; 공정조건들각각의특성들을얻는단계; 핫스폿들각각의특성들을얻는단계; 및공정조건들중 하나의특성들, 핫스폿들중 하나의특성들, 및그 공정조건하에서그 핫스폿이결함있는지의여부를포함하는트레이닝세트를이용하여기계학습모델을트레이닝하는단계를포함한다.

公开(公告)号：DE112019000022T5

公开(公告)日：2019-10-24

申请号：DE112019000022

申请日：2019-01-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： YPMA ALEXANDER ,  SONNTAG DAG ,  MOS CORNELIS EVERHARDUS ,  BASTANI VAHID ,  CEKLI ERGUN HAKKI ,  LIN CHENXI

IPC: G06N5/00 ,  G03F7/20

Abstract: Zu verarbeitende Substrate (402) werden auf der Basis von Vorverarbeitungsdaten (404), die mit Substraten vor einem Prozessschritt assoziiert sind, aufgeteilt. Die Daten werden unter Verwendung einer Aufteilungsregel (410, 412, 414) aufgeteilt und die Substrate werden in Übereinstimmung mit Teilsätzen der Daten, die durch die Aufteilung erhalten wurden, in Teilsätze (G1-G4) aufgeteilt. Spezifisch für jeden Teilsatz werden Korrekturen (COR1-COR4) angewandt. Die Aufteilungsregel wird unter Verwendung einer Entscheidungsbaumanalyse an einem Trainingssatz Substrate (502) erhalten (Fig. 5). Die Entscheidungsbaumanalyse verwendet Vorverarbeitungsdaten (256, 260), die mit den Trainingssubstraten assoziiert sind, bevor diese verarbeitet wurden, und Nachverarbeitungsdaten (262), die mit den Trainingssubstraten assoziiert sind, nachdem diese dem Prozessschritt unterzogen wurden. Die Aufteilungsregel (506), die den Entscheidungsbaum definiert, wird aus einer Vielzahl von Aufteilungsregeln (512) auf der Basis eines Charakteristikums von Teilsätzen der Nachverarbeitungsdaten ausgewählt. Die assoziierten Korrekturen (508) werden implizit zur gleichen Zeit erhalten.