公开(公告)号：DE112019000022T5

公开(公告)日：2019-10-24

申请号：DE112019000022

申请日：2019-01-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： YPMA ALEXANDER ,  SONNTAG DAG ,  MOS CORNELIS EVERHARDUS ,  BASTANI VAHID ,  CEKLI ERGUN HAKKI ,  LIN CHENXI

IPC: G06N5/00 ,  G03F7/20

Abstract: Zu verarbeitende Substrate (402) werden auf der Basis von Vorverarbeitungsdaten (404), die mit Substraten vor einem Prozessschritt assoziiert sind, aufgeteilt. Die Daten werden unter Verwendung einer Aufteilungsregel (410, 412, 414) aufgeteilt und die Substrate werden in Übereinstimmung mit Teilsätzen der Daten, die durch die Aufteilung erhalten wurden, in Teilsätze (G1-G4) aufgeteilt. Spezifisch für jeden Teilsatz werden Korrekturen (COR1-COR4) angewandt. Die Aufteilungsregel wird unter Verwendung einer Entscheidungsbaumanalyse an einem Trainingssatz Substrate (502) erhalten (Fig. 5). Die Entscheidungsbaumanalyse verwendet Vorverarbeitungsdaten (256, 260), die mit den Trainingssubstraten assoziiert sind, bevor diese verarbeitet wurden, und Nachverarbeitungsdaten (262), die mit den Trainingssubstraten assoziiert sind, nachdem diese dem Prozessschritt unterzogen wurden. Die Aufteilungsregel (506), die den Entscheidungsbaum definiert, wird aus einer Vielzahl von Aufteilungsregeln (512) auf der Basis eines Charakteristikums von Teilsätzen der Nachverarbeitungsdaten ausgewählt. Die assoziierten Korrekturen (508) werden implizit zur gleichen Zeit erhalten.