公开(公告)号：KR20200138328A

公开(公告)日：2020-12-09

申请号：KR20207031052

申请日：2019-03-04

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BASTANI VAHID ,  YPMA ALEXANDER

IPC: G03F7/20 ,  G05B19/418

Abstract: 제조프로세스의프로세스단계를거치는기판과연관된데이터를그룹화하기위한방법이개시된다. 이러한방법은, 프로세스단계의대상이되기전의기판과연관된제 1 데이터를획득하는단계, 및프로세스단계의대상이된 후의기판과연관된제 2 데이터의복수개의세트를획득하는단계를포함하고, 제 2 데이터의각각의세트는제 1 데이터의특성의상이한값과연관된다. 제 2 데이터의세트들사이의거리의척도를기술하는거리메트릭이결정되고; 상기거리메트릭의속성에기반하여제 2 데이터가그룹화된다.

公开(公告)号：DE112019000022T5

公开(公告)日：2019-10-24

申请号：DE112019000022

申请日：2019-01-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： YPMA ALEXANDER ,  SONNTAG DAG ,  MOS CORNELIS EVERHARDUS ,  BASTANI VAHID ,  CEKLI ERGUN HAKKI ,  LIN CHENXI

IPC: G06N5/00 ,  G03F7/20

Abstract: Zu verarbeitende Substrate (402) werden auf der Basis von Vorverarbeitungsdaten (404), die mit Substraten vor einem Prozessschritt assoziiert sind, aufgeteilt. Die Daten werden unter Verwendung einer Aufteilungsregel (410, 412, 414) aufgeteilt und die Substrate werden in Übereinstimmung mit Teilsätzen der Daten, die durch die Aufteilung erhalten wurden, in Teilsätze (G1-G4) aufgeteilt. Spezifisch für jeden Teilsatz werden Korrekturen (COR1-COR4) angewandt. Die Aufteilungsregel wird unter Verwendung einer Entscheidungsbaumanalyse an einem Trainingssatz Substrate (502) erhalten (Fig. 5). Die Entscheidungsbaumanalyse verwendet Vorverarbeitungsdaten (256, 260), die mit den Trainingssubstraten assoziiert sind, bevor diese verarbeitet wurden, und Nachverarbeitungsdaten (262), die mit den Trainingssubstraten assoziiert sind, nachdem diese dem Prozessschritt unterzogen wurden. Die Aufteilungsregel (506), die den Entscheidungsbaum definiert, wird aus einer Vielzahl von Aufteilungsregeln (512) auf der Basis eines Charakteristikums von Teilsätzen der Nachverarbeitungsdaten ausgewählt. Die assoziierten Korrekturen (508) werden implizit zur gleichen Zeit erhalten.

公开(公告)号：DE112018000173B4

公开(公告)日：2022-12-15

申请号：DE112018000173

申请日：2018-05-23

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HARUTYUNYAN DAVIT ,  JIA FEI ,  STAALS FRANK ,  WANG FUMING ,  LOOIJESTIJN HUGO THOMAS ,  RIJNIERSE CORNELIS JOHANNES ,  PISARENCO MAXIM ,  WERKMAN ROY ,  THEEUWES THOMAS ,  HEMERT TOM VAN ,  BASTANI VAHID ,  WILDENBERG JOCHEM SEBASTIAAN ,  MOS EVERHARDUS CORNELIS ,  WALLERBOS ERIK JOHANNES MARIA

IPC: G03F7/20 ,  G05B13/04 ,  G05B19/418 ,  H01L21/66

Abstract: Ein Verfahren zum Bestimmen eines charakteristischen Beitrags einer Vorrichtung aus einer Vielzahl von Vorrichtungen zu einem Fingerabdruck eines Parameters, wobei der Parameter mit der Verarbeitung eines Substrats assoziiert ist, wobei das Verfahren Folgendes beinhaltet:Erhalten von Parameterdaten und Verwendungsdaten, wobei die Parameterdaten auf Messungen für mehrere Substrate, die von der Vielzahl von Vorrichtungen verarbeitet worden sind, basieren und die Verwendungsdaten angeben, welche der Vorrichtungen aus der Vielzahl von Vorrichtungen bei der Verarbeitung jedes Substrats verwendet wurden;Bestimmen des Beitrags unter Verwendung der Verwendungsdaten und Parameterdaten; undAnalysieren der Variation der Parameterdaten unter Verwendung der Verwendungsdaten, wobei das Bestimmen des Beitrags zu dem Parameter für eine Vorrichtung das Gruppieren der Daten unter Verwendung der analysierten Variation beinhaltet.

公开(公告)号：DE112018000173T5

公开(公告)日：2019-08-22

申请号：DE112018000173

申请日：2018-05-23

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HARUTYUNYAN DAVIT ,  JIA FEI ,  STAALS FRANK ,  WANG FUMING ,  LOOIJESTIJN HUGO THOMAS ,  RIJNIERSE CORNELIS JOHANNES ,  PISARENCO MAXIM ,  WERKMAN ROY ,  THEEUWES THOMAS ,  HEMERT TOM VAN ,  BASTANI VAHID ,  WILDENBERG JOCHEM SEBASTIAAN ,  MOS EVERHARDUS CORNELIS ,  WALLERBOS ERIK JOHANNES MARIA

IPC: G03F7/20 ,  G05B13/04 ,  G05B19/418 ,  H01L21/66

Abstract: Ein Verfahren, System und Programm zum Bestimmen des Beitrags eines Fingerabdrucks eines Parameters. Das Verfahren umfasst das Bestimmen eines Beitrags von einer Vorrichtung aus einer Vielzahl von Vorrichtungen zu einem Fingerabdruck eines Parameters. Das Verfahren beinhaltet Folgendes:Erhalten von Parameterdaten und Verwendungsdaten, wobei die Parameterdaten auf Messungen für mehrere Substrate, die von der Vielzahl von Vorrichtungen verarbeitet worden sind, basieren und die Verwendungsdaten angeben, welche der Vorrichtungen aus der Vielzahl der Vorrichtungen bei der Verarbeitung jedes Substrats verwendet wurden; undBestimmen des Beitrags unter Verwendung der Verwendungsdaten und Parameterdaten.