公开(公告)号：NL2010849A

公开(公告)日：2013-12-16

申请号：NL2010849

申请日：2013-05-23

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： PELLEMANS HENRICUS ,  ANTSIFEROV PAVEL ,  KRIVTSUN VLADIMIR ,  WIT JOHANNES ,  ZOUW GERBRAND ,  SMEETS RALPH

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：SG11201407782QA

公开(公告)日：2015-01-29

申请号：SG11201407782Q

申请日：2013-05-23

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： PELLEMANS HENRICUS ,  VAN DER ZOUW GERBRAND ,  SMEETS RALPH ,  DE WIT JOHANNES ,  ANTSIFEROV PAVEL ,  KRIVTSUN VLADIMIR

IPC: G03F7/20 ,  H05H1/24