公开(公告)号：NL2011248A

公开(公告)日：2014-03-03

申请号：NL2011248

申请日：2013-08-01

Applicant: ASML HOLDING NV ,  ASML NETHERLANDS BV

Inventor： WARD CHRISTOPHER ,  LEENDERS MARTINUS ,  SCHUSTER MARK ,  VALENTIN CHRISTIAAN

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2011453A

公开(公告)日：2014-03-24

申请号：NL2011453

申请日：2013-09-17

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LOOPSTRA ERIK ,  SCHOOT JAN ,  SENGERS TIMOTHEUS ,  VALENTIN CHRISTIAAN ,  DIJSSELDONK ANTONIUS

IPC: G03F7/20