公开(公告)号：NL2006604A

公开(公告)日：2011-06-09

申请号：NL2006604

申请日：2011-04-14

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BANINE VADIM ,  BOEIJ WILHELMUS ,  DIJSSELDONK ANTONIUS ,  LOOPSTRA ERIK ,  MOORS ROEL ,  SCHOOT JAN ,  SWINKELS GERARDUS ,  YAKUNIN ANDREI

IPC: G03F7/20 ,  G21K1/06

公开(公告)号：NL2005114A

公开(公告)日：2011-02-15

申请号：NL2005114

申请日：2010-07-20

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： DIJSSELDONK ANTONIUS ,  LOOPSTRA ERIK

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

公开(公告)号：NL2007634A

公开(公告)日：2012-06-15

申请号：NL2007634

申请日：2011-10-20

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHOOT JAN ,  BOUCHOMS IGOR ,  DIJSSELDONK ANTONIUS ,  EURLINGS MARKUS

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2011453A

公开(公告)日：2014-03-24

申请号：NL2011453

申请日：2013-09-17

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LOOPSTRA ERIK ,  SCHOOT JAN ,  SENGERS TIMOTHEUS ,  VALENTIN CHRISTIAAN ,  DIJSSELDONK ANTONIUS

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2009806A

公开(公告)日：2013-06-10

申请号：NL2009806

申请日：2012-11-14

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： DIJSSELDONK ANTONIUS ,  BLEEKER ARNO

IPC: G03F7/20