公开(公告)号：NL2003600A

公开(公告)日：2010-06-07

申请号：NL2003600

申请日：2009-10-06

Applicant: ASML NETHERLANDS BV ,  KONINK PHILIPS ELECTRONICS B V

Inventor： TEMPEL LEENDERT ,  DIJKSMAN JOHAN ,  WUISTER SANDER ,  KRUIJT-STEGEMAN YVONNE ,  LAMMERS JEROEN ,  MUTSAERS CORNELIS

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/30

公开(公告)号：NL2003875A

公开(公告)日：2010-08-05

申请号：NL2003875

申请日：2009-11-27

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： WUISTER SANDER ,  DIJKSMAN JOHAN ,  KRUIJT-STEGEMAN YVONNE ,  LAMMERS JEROEN ,  TEMPEL LEENDERT

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/30