公开(公告)号：KR20180043294A

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：KR20187006952

申请日：2016-07-29

Applicant: AXCELIS TECH INC

Inventor： BAGGET JOHN ,  BERINGER JASON

IPC: H01J37/08 ,  H01J3/04

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J3/04 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/31701

Abstract: 이온소스필라멘트클램프(100)는제1 단부(104)와제2 단부(106)를갖는클램프부재(102)를갖는다. 상기제1 단부는캠 표면(132) 및캠 공이(134) 중하나를가지며, 서로대향하고이온소스필라멘트의리드를수용하기위해규정된리드개구(116)를가지는슬롯(114)에의해분리되는제1 부분(110) 및제2 부분(112)을가진다. 액추에이터핀(120)은액추에이터핀 축(126)을따라연장되고제1(122) 및제2 섹션을가진다. 상기제1 섹션(122)은상기클램프부재의상기제1 부분(110)에결합된다. 상기액추에이터핀은상기클램프부재의상기제2 부분의관통홀(128)을통해연장하고슬라이딩체결된다. 캠부재(108)는상기액추에이터핀 (120)의제2 섹션(124)에작동가능하게결합된다. 상기캠 부재는핸들(130)을가지며, 상기캠 표면(132)과캠 공이(134) 중하나를포함하고클램프위치와언클램프위치사이에서회전하도록구성된다. 상기캠 공이(134)는상기캠 표면(132)과슬라이딩접촉한다. 상기클램프위치에서, 상기캠 공이는제1의미리결정된방식으로상기캠 표면과체결되어상기클램프부재의상기제1 및제2 부분(110, 112)을서로를향해선택적으로압축하고상기리드개구(116) 내의리드에클램핑압력을가하며, 상기클램프부재의상기제1 부분과제2 부분사이에스프링장력을유도한다. 상기언클램프위치에서, 상기캠 공이는제2의미리결정된방식으로상기캠 표면과체결되고, 상기클램프부재의상기제1 및제2 부분(110, 112)을서로이격시켜상기리드개구내의리드에대한클램핑압력을해제한다.