公开(公告)号：DE2657558A1

公开(公告)日：1978-06-22

申请号：DE2657558

申请日：1976-12-18

Applicant: BASF AG

Inventor： KOPLIN ECKHARD ,  HOFFMANN HORST DIPL CHEM DR ,  RAIFF SIEGFRIED DIPL ING ,  RICHTER PETER DIPL CHEM DR ,  KAUFMANN HELMUT

IPC: G03D5/04 ,  G03F7/30 ,  G03F7/40

公开(公告)号：CH623143A5

公开(公告)日：1981-05-15

申请号：CH1540977

申请日：1977-12-14

Applicant: BASF AG

Inventor： KOPLIN ECKHARD ,  HOFFMANN HORST DR ,  RAIFF SIEGFRIED ,  RICHTER PETER DR ,  KAUFMANN HELMUT

IPC: G03D5/04 ,  G03F7/30 ,  G03F7/40