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公开(公告)号:WO2019224032A1
公开(公告)日:2019-11-28
申请号:PCT/EP2019/062178
申请日:2019-05-13
Applicant: BASF SE
Inventor: BRILL, Marcel , LOEFFLER, Daniel , PIRRUNG, Frank , ENGELBRECHT, Lothar , CSIHONY, Szilard , BERGELER, Maike , BOYKO, Volodymyr , WILKE, Patrick
Abstract: The invention relates to the use of a composition comprising a C 1 to C 6 alkanol and a carboxylic acid ester of formula (I) wherein R 1 is selected from a C 1 to C 6 alkyl, which may be unsubstituted or substituted by OH or F, and -X 21 -[O-X 22 ] n -H; R 2 is selected from a C 1 to C 6 alkyl, which may be unsubstituted or substituted by OH or F, and -X 21 -[O-X 22 ] n -H; X 21 , X 22 are independently selected from C 1 to C 6 alkandiyl, which may be unsubstituted or substituted by OH or F; n is an integer from 1 to 5. wherein, the C 1 to C 6 alkanol and the carboxylic acid ester are selected so as to form an azeotropic mixture and are present in an amount from 20 % by weight below to 20 % by weight above such azeotropic mixture.
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公开(公告)号:WO2021004759A1
公开(公告)日:2021-01-14
申请号:PCT/EP2020/067146
申请日:2020-06-19
Applicant: BASF SE
Inventor: LOPEZ VILLANUEVA, Francisco Javier , BURK, Yeni , LOEFFLER, Daniel , MUELLER, Jan Ole , BRILL, Marcel , WILKE, Patrick , LINDNER, Jean-Pierre Berkan , BOYKO, Volodymyr
IPC: C09K13/00 , C09K13/08 , H01L21/306
Abstract: The invention relates to a composition for selectively etching a layer comprising a silicon germanium alloy (SiGe) in the presence of a silicon-containing layer, particularly a layer comprising a-Si, SiOx, SiON, SiN, or a combination thereof, the composition comprising: (a) an oxidizing agent, (b) an acid selected from an inorganic acid and an organic acid, 10 (c) an etchant comprising a source of fluoride ions, (d) a polyvinylpyrrolidone (PVP), and (e) water.
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3.
公开(公告)号:WO2018050489A1
公开(公告)日:2018-03-22
申请号:PCT/EP2017/072232
申请日:2017-09-05
Applicant: BASF SE
Inventor: HOECKER, Johannes David , MASSONNE, Klemens , BRILL, Marcel , MERGER, Martin , RUCH, Joachim , FLEISCHEL, Olivier , HERMANUTZ, Frank , UNOLD, Joerg
IPC: C08G75/22 , C07D263/57 , C09K11/00 , C08G61/00 , C08G63/00 , C08G73/00 , D01D4/00 , D01F6/74 , H01B1/00 , H01L51/00
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Polybenzazolpolymers (P) durch Umsetzen eines Reaktionsgemisches (R G ), welches mindestens eine aromatische Dicarboxylverbindung der allgemeinen Formel (I), mindestens eine aromatische Diaminoverbindung der allgemeinen Formel (IIa), (IIb), (IIc) und/oder(IId) sowie mindestens eine ionische Flüssigkeit (IL) enthält. Die vorliegende Erfindung betrifft außerdem das Polybenzazolpolymer (P), welches durch das erfindungsgemäße Verfahren erhältlich ist sowie die Verwendung des Polybenzazolpolymers (P), beispielsweise als Fasermaterial.
Abstract translation:
本发明涉及一种方法,用于制造通过的反应混合物反应而得到的聚吲哚聚合物(P)(R <子“G 子>)具有通式(I)的至少一种芳族二化合物,至少 通式(IIA),(IIb)中的芳族二氨基化合物,式(IIc)和/或(IId)的,和至少一种离子液体导航使用液体(IL)包含成立。 本发明还涉及可通过本发明的方法获得的聚苯并唑聚合物(P),以及聚苯并唑聚合物(P)例如作为纤维材料
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公开(公告)号:WO2020212173A1
公开(公告)日:2020-10-22
申请号:PCT/EP2020/059580
申请日:2020-04-03
Applicant: BASF SE
Inventor: CSIHONY, Szilard , LOEFFLER, Daniel , BRILL, Marcel , PIRRUNG, Frank , ENGELBRECHT, Lothar , BERGELER, Maike , WILKE, Patrick , BURK, Yeni , BOYKO, Volodymyr
IPC: G03F7/40 , B81C1/00 , H01L21/02 , H01L21/027 , H01L21/306 , C11D11/00
Abstract: The present invention relates to a non-aqueous composition comprising (a) an organic solvent (b) at least one additive of formulae I, Formula (I) wherein R 1 , R 2 , R 3 , and R 4 are independently selected from C 1 to C 10 alkyl, C 1 to C 11 alkylcarbonyl, C 6 to C 12 aryl, C 7 to C 14 alkylaryl, and C 7 to C 14 arylalkyl; and n is 0 or 1.
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5.
公开(公告)号:WO2019170529A1
公开(公告)日:2019-09-12
申请号:PCT/EP2019/055092
申请日:2019-03-01
Applicant: BASF SE
Inventor: BRILL, Marcel , DEBEAUVAIS DE VASCONCELOS, Ines , NOWAK, Maik , FLEISCHEL, Olivier , MERGER, Martin , STAMMER, Achim , RUCH, Joachim , HERMANUTZ, Frank , BEYER, Ronald , BUCHMEISER, Michael R.
Abstract: Verfahren zur Herstellung von Folien, Fasern und Formkörpern eines Polybenzazolpolymers (P) durch Umsetzen eines Reaktionsgemisches (RG), das die folgenden Komponenten enthält: (a) mindestens eine aromatische Dicarboxylverbindung der allgemeinen Formel (I) in der Ar 1 ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus unsubstituiertem oder zumindest monosubstituiertem Phenylen, Naphthalindiyl, Anthracendiyl, Biphenyldiyl, Diphenylmethandiyl, Diphenyletherdiyl, Diphenylthioetherdiyl, Diphenylsulfondiyl, Benzophenondiyl, Pyridindiyl, Pyrimidindiyl, Furandiyl und Thiophendiyl, wobei die Substituenten ausgewählt sind aus der Gruppe bestehend aus -F, -Cl, -Br, -OR 1 und -C 1 -C 10 -Alkyl, wobei R 1 -H oder -C 1 -C 10 -Alkyl ist; X 1 , X 2 unabhängig voneinander ausgewählt sind aus der Gruppe bestehend -OR 2 , -F, -Cl und -Br, wobei R 2 -H, -C 1 -C 10 -Alkyl, -C 1 -C 10 -Alkenyl oder eine Wiederholungseinheit der allgemeinen Formel (la) ist in der m eine natürliche Zahl von 1 bis 50 ist, und R 3 -H, -C 1 -C 10 -Alkyl oder -C 1 -C 10 -Alkenyl ist; (b) mindestens eine aromatische Diaminoverbindung der allgemeinen Formel (IIa), (IIb), (llc) und/oder (lld) in denen n 0 oder 1 ist Y 1 , Y 2 , Y 3 , Y 4 unabhängig voneinander -H, -OR 4 oder -SR 4 sind, wobei R 4 ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus -H, -C 1 -C 10 -Alkyl, Trimethylsilyl, tert-Butyldimethylsilyl, Acetyl und tert-Butyloxycarbonyl, und wobei höchstens einer der Reste Y 1 und Y 2 -H ist, und wobei höchstens einer der Reste Y 3 und Y 4 -H ist; Z 1 , Z 2 , Z 3 , Z 4 , Z 5 , Z 6 , Z 7 , Z 8 unabhängig voneinander -NH 2 oder -NH 3+ Q- sind, wobei Q- ein Anionenäquivalent ist, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus F-, Cl-, Br-, I-, HSO 4 -, SO 4 2 -, H 3 C-SO 3 -, P-H 3 C-C 6 H 4 -SO 3 - und NO 3 -; und (c) mindestens eine ionische Flüssigkeit (IL); dadurch gekennzeichnet, dass die Umsetzung des Reaktionsgemisches (R G ) bei einer Temperatur T R im Bereich von 0 bis 120 °C stattfindet unter Erhalt eines Produktgemisches (P VG ), Verarbeiten des Produktgemisches (P VG ) ZU Folien, Fasern oder Formkörpern bei einer Temperatur Tv im Bereich von 0 bis 100 °C und Erhitzen der so gewonnenen Folien, Fasern oder Formkörper auf eine Temperatur T P im Bereich von 250 bis 500 °C.
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公开(公告)号:WO2019086374A1
公开(公告)日:2019-05-09
申请号:PCT/EP2018/079555
申请日:2018-10-29
Applicant: BASF SE
Inventor: LOEFFLER, Daniel , SHEN, Mei Chin , WEI, Sheng Hsuan , PIRRUNG, Frank , ENGELBRECHT, Lothar , BURK, Yeni , KLIPP, Andreas , BRILL, Marcel , CSIHONY, Szilard
IPC: G03F7/40 , C11D1/66 , C11D11/00 , H01L21/02 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/40 , C11D3/373 , C11D3/3734 , C11D3/3738 , C11D7/5004 , C11D7/5022 , C11D11/0047 , G03F7/405 , H01L21/02057
Abstract: The invention relates to the use of a non-aqueous composition comprising an organic solvent and at least one particular siloxane-type additive for treating substrates comprising patterns having line-space dimensions of 50 nm or below and aspect ratios of 4 or more as well as a method for manufacturing integrated circuit devices, optical devices, micromachines and mechanical precision devices,the said method comprising the steps of (1) providing a substrate having patterned material layers having line-space dimensions of 50 nm, aspect ratios of greater or equal 4, or a combination thereof, (2) contacting the substrate at least once with a non-aqueous composition, and (3) removing the non-aqueous composition from the contact with the substrate, wherein the non-aqueous composition comprising an organic solvent and at least one of such siloxane-type additives.
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公开(公告)号:EP3704547A1
公开(公告)日:2020-09-09
申请号:EP18800532.6
申请日:2018-10-29
Applicant: BASF SE
Inventor: LOEFFLER, Daniel , SHEN, Mei Chin , WEI, Sheng Hsuan , PIRRUNG, Frank , ENGELBRECHT, Lothar , BURK, Yeni , KLIPP, Andreas , BRILL, Marcel , CSIHONY, Szilard
IPC: G03F7/40 , C11D1/66 , C11D11/00 , H01L21/02 , H01L21/027
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公开(公告)号:EP3997193A1
公开(公告)日:2022-05-18
申请号:EP20733993.8
申请日:2020-06-19
Applicant: BASF SE
Inventor: LOPEZ VILLANUEVA, Francisco Javier , BURK, Yeni , LOEFFLER, Daniel , MUELLER, Jan Ole , BRILL, Marcel , WILKE, Patrick , LINDNER, Jean-Pierre Berkan , BOYKO, Volodymyr
IPC: C09K13/00 , C09K13/08 , H01L21/306
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公开(公告)号:EP3512905A1
公开(公告)日:2019-07-24
申请号:EP17768393.5
申请日:2017-09-05
Applicant: BASF SE
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公开(公告)号:EP3956729A1
公开(公告)日:2022-02-23
申请号:EP20715884.1
申请日:2020-04-03
Applicant: BASF SE
Inventor: CSIHONY, Szilard , LOEFFLER, Daniel , BRILL, Marcel , PIRRUNG, Frank , ENGELBRECHT, Lothar , BERGELER, Maike , WILKE, Patrick , BURK, Yeni , BOYKO, Volodymyr
IPC: G03F7/40 , B81C1/00 , H01L21/02 , H01L21/027 , H01L21/306 , C11D11/00
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