公开(公告)号：RU2608890C2

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：RU2013115236

申请日：2011-09-06

Applicant: BASF SE

Inventor： NOLLER BASTIAN ,  FRANTS DIANA ,  LI YUZHUO ,  USMAN IBRAKHIM SHEJK ANSAR ,  PINDER KHARVI UEJN ,  VENKATARAMAN SHIAM SUNDAR

IPC: C09G1/02 ,  A01N51/00 ,  C09G1/04

Abstract: Изобретениеотноситсяк воднымполирующимкомпозициямдляполированияматериаловподложекэлектрических, высокойточностимеханическихи оптическихустройств. Воднаяполирующаякомпозициясодержит (A) поменьшеймереоднорастворимоев водеилидиспергируемоев водесоединение, выбранноеизсолей N-замещенных N'-гидрокси-диазений-оксидов, и (В) абразивныечастицы, содержащиеоксидцерияилисостоящиеизнего. Описываетсятакжеспособполированияматериаловдодостиженияжелательнойплоскостностис использованиемуказаннойкомпозиции. Предложеннаяполирующаякомпозицияобеспечиваетповышеннуюоксид/нитрид-селективностьи улучшеннуюглобальнуюи локальнуюплоскостностьотполированныхматериаловэлектрических, механическихи оптическихустройств. 3 н. и 6 з. п. ф-лы, 2 табл., 6 пр.