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1.

发明专利
HAPTO-3-PENTADIENYL COBALT OR NICKEL PRECURSORS AND THEIR USE IN THIN FILM DEPOSITION PROCESSES 未知

公开(公告)号：SG11201810120VA

公开(公告)日：2019-02-27

申请号：SG11201810120V

申请日：2017-07-14

Applicant: BASF SE

Inventor： LIMBURG CAROLIN , LOEFFLER DANIEL , WILMER HAGEN , WALTER MARC , REINERS MATTHIAS

IPC: C07F15/04 , C07F15/06

2.

发明专利
PROCESS FOR THE GENERATION OF THIN INORGANIC FILMS 未知

公开(公告)号：SG11201807865UA

公开(公告)日：2018-10-30

申请号：SG11201807865U

申请日：2017-04-10

Applicant: BASF SE

Inventor： LIMBURG CAROLIN , LOEFFLER DANIEL , WILMER HAGEN , WALTER MARC , REINERS MATTHIAS

IPC: C23C16/455 , C01G51/00 , C01G53/00 , C07F15/04 , C07F15/06

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