公开(公告)号：RU2588620C2

公开(公告)日：2016-07-10

申请号：RU2013131395

申请日：2011-12-07

Applicant: BASF SE

Inventor： VENKATARAMAN SHIAM SUNDAR ,  SU ISON YUJ-SHEN ,  KINGMA AREND JOUKE ,  NOLLER BASTIAN MARTEN

IPC: C09G1/02 ,  C09G1/04 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304 ,  H01L21/32

Abstract: Изобретениеотноситсяк новымводнымполирующимкомпозициям, которыеособенноподходятдляполированияполупроводниковыхподложек, содержащихпленкинаосновеоксидкремниевогодиэлектрикаи поликремния, необязательносодержащихпленкинаосновенитридакремния. Композициясодержит (A) абразивныечастицыоксидацерияи (B) амфифильныенеионогенныеповерхностно-активныевещества, выбранныеизрастворимыхв водеи диспергируемыхв воде, линейныхи разветвленныхполиоксиалкиленовыхблоксополимеровобщейформулы I:, где m, n и p являютсяцелымичислами≥ 1; R означаетатомводородаилиодновалентныйилиполивалентныйорганическийостаток, заисключением C-Cалкильныхгрупп; (B1) блококсиэтиленовыхмономерныхзвеньев; (B2) блокзамещенныхоксиалкиленовыхмономерныхзвеньев, гдезаместителивыбираютиздвухметильныхгрупп, алкильныхгрупп, имеющихболеедвухатомовуглерода, ициклоалкильных, арильных, алкил-циклоалкильных, алкил-арильных, циклоалкил-арильныхи алкил-циклоалкил-арильныхгрупп; и Y означаетатомводородаилиодновалентныйорганическийостаток, заисключением C-Cалкильныхгрупп; приусловии, чтоесли (B) содержитболееодногоблока (B1) или (B2), дваблокаодинаковоготипаразделеныблокомдругоготипа (В1) или (В2). Композицияобладаетзначительноулучшеннойселективностьюоксид/поликремнийи обеспечиваетполучениеполированныхпластин, имеющихпревосходнуюглобальнуюи локальнуюплоскостность. 2 н. и 15 з.п. ф-лы, 3 табл., 9 пр.