公开(公告)号：TWI582846B

公开(公告)日：2017-05-11

申请号：TW101143420

申请日：2012-11-21

Applicant: 布魯爾科技公司 ,  BREWER SCIENCE INC.

Inventor： 瓦塔拉 坦堤波羅 ,  OUATTARA, TANTIBORO ,  瓦許布恩 卡爾頓 ,  WASHBURN, CARLTON ,  克里須納摩堤 凡達娜 ,  KRISHNAMURTHY, VANDANA ,  谷瑞羅 道格拉斯 ,  GUERRERO, DOUGLAS ,  柯林 愛琳 ,  COLLIN ALINE

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: G03F7/092 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/11 ,  G03F7/2004 ,  Y10S977/755 ,  Y10T428/24917

公开(公告)号：EP2783389A4

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：EP12851678

申请日：2012-11-20

Applicant: BREWER SCIENCE INC

Inventor： OUATTARA TANTIBORO ,  WASHBURN CARLTON ,  KRISHNAMURTHY VANDANA ,  GUERRERO DOUGLAS ,  COLLIN ALINE

IPC: H01L21/027 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/09 ,  G03F7/11 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/092 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/11 ,  G03F7/2004 ,  Y10S977/755 ,  Y10T428/24917