公开(公告)号：EP0958593A4

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：EP98906009

申请日：1998-01-27

Applicant: CALIFORNIA INST OF TECHN

Inventor： TAI YU-CHONG ,  DESAI AMISH ,  LEE TERRY ,  DAVIS MIKE

IPC: H01J49/04 ,  H01J49/10

CPC classification number: H01J49/167 ,  H01J49/0018 ,  H01J49/04

Abstract: A MEMS electrospray nozzle (320) for mass spectroscopy is disclosed. The nozzle has: a channel field (380) having an inner diameter between 0.3-3 νm; a nozzle tip (390); and a filter structure (370) positioned on the channel field. A method of fabricating the nozzle is also disclosed.

Abstract translation: 公开了用于质谱的MEMS电喷嘴（320）。 该喷嘴具有：内径在0.3-3νm之间的通道区域（380） 一个喷嘴尖端（390）; 和位于通道场上的滤波器结构（370）。 还公开了制造喷嘴的方法。

公开(公告)号：AU6135298A

公开(公告)日：1998-08-26

申请号：AU6135298

申请日：1998-01-27

Applicant: CALIFORNIA INST OF TECHN

Inventor： TAI YU-CHONG ,  DESAI AMISH ,  LEE TERRY ,  DAVIS MIKE

IPC: H01J49/04 ,  H01J49/10