公开(公告)号：KR20180056372A

公开(公告)日：2018-05-28

申请号：KR20170149266

申请日：2017-11-10

Applicant: CANON KK

Inventor： YONEKAWA MASAMI ,  EMOTO KEIJI ,  MAEDA TOSHIHIRO

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20

Abstract: 파티클에기인하여발생할수 있는패턴결함이나기판및/또는형의파손을저감하기위해유리한기술을제공한다. 임프린트장치는, 기판상의임프린트재에형을접촉시켜해당임프린트재를경화시킴으로써해당기판상에패턴을형성한다. 임프린트장치는, 기판을보유지지하는기판보유지지수단과, 형을보유지지하는형 보유지지부와, 상기형 보유지지부의주변에배치된형 주변부재와, 상기기판보유지지수단과상기형 주변부재사이에전압을공급하는전원을구비한다. 상기기판보유지지부는, 기판을흡착하는기판흡착부와, 상기기판흡착부의주변에배치된기판주변부를포함한다. 상기임프린트장치는, 상기기판보유지지수단을클리닝하는제1 모드와, 상기형 주변부재를클리닝하는제2 모드를갖는다. 상기제1 모드에서상기전원이상기형 주변부재와상기기판보유지지수단사이에공급하는전압의극성과, 상기제2 모드에서상기전원이상기형 주변부재와상기기판보유지지수단사이에공급하는전압의극성이반대이다.

公开(公告)号：SG11201807161RA

公开(公告)日：2018-09-27

申请号：SG11201807161R

申请日：2017-02-17

Applicant: CANON KK

Inventor： MATSUOKA YOICHI ,  YAMAMOTO KIYOHITO ,  AZUMA HISANOBU ,  TERASHIMA SHIGERU ,  MAEDA TOSHIHIRO ,  YONEKAWA MASAMI ,  EMOTO KEIJI ,  NAKAGAWA KAZUKI

IPC: H01L21/027 ,  B29C33/72 ,  B29C59/02 ,  H01L21/304

Abstract: An imprint apparatus forms a pattern on a substrate (101) by curing an imprint material on the substrate while the imprint material is in contact with a mold. The imprint apparatus includes a substrate chuck (102) having a substrate holding region for holding the substrate, a peripheral member (113) arranged to 5 surround the side surface of the substrate held by the substrate chuck, and a control unit configured to control a cleaning process for cleaning at least a partial region of the peripheral member by using a cleaning member (170) including a charging unit. The cleaning process includes an operation for attracting a particle in the partial region to the charging unit by moving the cleaning member 10 relative to the peripheral member while the charging unit faces at least the partial region of the peripheral member.

公开(公告)号：JP2019091818A

公开(公告)日：2019-06-13

申请号：JP2017220129

申请日：2017-11-15

Applicant: CANON KK

Inventor： MAEDA TOSHIHIRO

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 【課題】モールドおよび/または基板へのパーティクルの付着を低減するために有利な技術を提供する。【解決手段】モールド100を用いて基板101上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置IMPは、基板101を保持する保持部102と、前記保持部102の周辺に配置された周辺部材113と、前記周辺部材113に対向する面を有し、前記面と前記周辺部材との間に電界を発生させる発生部170と、前記面における異物の付着状態を検査する検査部と、前記検査部での検査結果に応じて報知を行う報知部127と、を含む。【選択図】図1

公开(公告)号：JP2015179771A

公开(公告)日：2015-10-08

申请号：JP2014057111

申请日：2014-03-19

Applicant: CANON KK

Inventor： MAEDA TOSHIHIRO ,  MATSUOKA YOICHI

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 【課題】インプリント材を基板上の目標領域内に正確に供給するために有利な技術を提供する。【解決手段】パターンが形成されたモールドを用いて、基板上のインプリント材を成形するインプリント装置は、前記基板上に前記インプリント材が供給されるように前記インプリント材を吐出する吐出部と、前記吐出部から吐出された前記インプリント材の動きが調整されるように、前記吐出部と前記基板との間の空間における気体の流れを制御する気体制御部と、前記吐出部から吐出された前記インプリント材が前記基板上の目標領域内に供給されるように前記気体制御部を制御する制御部とを含む。【選択図】図1