公开(公告)号：AT350763T

公开(公告)日：2007-01-15

申请号：AT05290812

申请日：2005-04-13

Applicant: CIT ALCATEL

Inventor： BERNARD ROLAND ,  KAMBARA HISANORI ,  RIVAL JEAN-LUC ,  LE GUET CATHERINE

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/673 ,  H01L21/00

公开(公告)号：FR2874744B1

公开(公告)日：2006-11-24

申请号：FR0451932

申请日：2004-08-30

Applicant: CIT ALCATEL

Inventor： LE GUET CATHERINE ,  KAMBARA HISANORI ,  DESBIOLLES JEAN PIERRE

IPC: H01L21/00 ,  B65D81/20 ,  B65G49/07

Abstract: The device has a transport box (1) retained by a retaining unit (15). A box door (4) is integrated to an interface door (12) and displaced in an axial movement followed by a transversal movement, by door actuating units (14). A peripheral volume (21) around the two doors can be pumped by connection pumps (22, 23). Frontal sealing units (5) seal the door (4) that is locked on the box by locking units (20, 12f).

公开(公告)号：DE602005000396D1

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：DE602005000396

申请日：2005-04-13

Applicant: CIT ALCATEL

Inventor： BERNARD ROLAND ,  KAMBARA HISANORI ,  RIVAL JEAN-LUC ,  LE GUET CATHERINE

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/00 ,  H01L21/673

公开(公告)号：FR2874744A1

公开(公告)日：2006-03-03

申请号：FR0451932

申请日：2004-08-30

Applicant: CIT ALCATEL

Inventor： LE GUET CATHERINE ,  KAMBARA HISANORI ,  DESBIOLLES JEAN PIERRE

IPC: H01L21/00 ,  B65D81/20 ,  B65G49/07

Abstract: Dans un dispositif selon l'invention, une boîte de transport (1) peut être accouplée à l'ouverture de passage (11) d'un appareil de traitement (9), de manière étanche par interposition d'un joint périphérique d'interface (16). La porte de boîte (4) peut être solidarisée sélectivement à la porte d'interface (12) pour un déplacement en bloc selon un mouvement axial suivi d'un mouvement transversal, entraînée par des moyens d'actionnement de porte (14). La boîte de transport (1) est retenue par un moyen de retenue (15). Le volume périphérique (21) autour des deux portes peut être pompé par une pompe (22) et une canalisation (23). Sur la boîte de transport (1), la porte de boîte (4) peut être verrouillée par des moyens de verrouillage (20), assurant une bonne étanchéité pendant que la boîte de transport (1) est à l'écart de l'appareil de traitement (9).On assure ainsi une bonne étanchéité de la boîte de transport (1), et on permet l'ouverture sous vide des portes (4, 12) sans pollution de l'atmosphère intérieure.