公开(公告)号：JP2012042966A

公开(公告)日：2012-03-01

申请号：JP2011205771

申请日：2011-09-21

Applicant: Corning Inc ,  コーニング インコーポレイテッド

Inventor： HRDINA KENNETH E ,  JOHN E MAXSON ,  MCLEAN BRENT R

IPC: G02B1/00 ,  G02B5/08 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G03F1/24 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1446 ,  C03B19/1484 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/66 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70958

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an extreme ultraviolet optical element having a low-level striation; and to provide a glass boule for manufacturing the extreme ultraviolet optical element.SOLUTION: This low striation extreme ultraviolet optical element includes silica-titania glass having a polished and shaped surface and having a crest-to-trough striation level smaller than 0.2 MPa, and the glass contains titania in the range of 5-10 wt.%. The glass has a coefficient of thermal expansion (CTE) within a range of +30 ppb/°C to -30 ppb/°C at a temperature between 20-35°C.

Abstract translation: 要解决的问题：提供具有低水平条纹的极紫外光学元件; 并提供用于制造极紫外光学元件的玻璃杯。

解决方案：该低条纹极紫外光学元件包括具有抛光和成形表面并且具有小于0.2MPa的波峰至槽条纹水平的二氧化硅 - 二氧化钛玻璃，并且玻璃含有5-10重量级的二氧化钛 重量％。 在20-35℃的温度下，玻璃的热膨胀系数（CTE）在+ 30ppb /℃至-30ppb /℃的范围内。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2008182220A

公开(公告)日：2008-08-07

申请号：JP2007334048

申请日：2007-12-26

Applicant: Corning Inc ,  コーニング インコーポレイテッド

Inventor： HRDINA KENNETH E ,  MAXON JOHN E ,  MCLEAN BRENT R

IPC: G02B1/00 ,  H01L21/027 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G03F1/24 ,  G03F7/20

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1446 ,  C03B19/1484 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/66 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70958

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an extreme ultraviolet ray optical element made of a titania-containing silica glass having a low level striation, a method and an apparatus for producing the extreme ultraviolet ray optical element, and a method and an apparatus for measuring the striation in a glass element or an extreme ultraviolet ray optical element.
SOLUTION: The silica glass contains 5-10 wt.%, preferably 6-8 wt.% of a titania, and it has a thermal expansion coefficient at 20-35°C in a range of +30 to -30 ppb/°C, preferably +20 to -20 ppb/°C.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种由具有低水平条纹的含二氧化钛的二氧化硅玻璃制成的极紫外线光学元件，一种用于制造极紫外线光学元件的方法和装置，以及一种方法和装置 用于测量玻璃元件或极紫外线光学元件中的条纹。 解决方案：二氧化硅玻璃含有5-10重量％，优选6-8重量％的二氧化钛，并且其在20-35℃的热膨胀系数在+30至-30ppb的范围内 /℃，优选为+ 20〜-20ppb /℃。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

公开(公告)号：AU2003220982A8

公开(公告)日：2003-09-22

申请号：AU2003220982

申请日：2003-03-04

Applicant: CORNING INC

Inventor： MAXON JOHN E ,  MCLEAN BRENT R ,  HRDINA KENNETH E

IPC: G02B1/00 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G03F1/24 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G01N21/23 ,  G01B11/16

Abstract: Titania-containing silica glass bodies and extreme ultraviolet elements having low levels of striae are disclosed. Methods and apparatus for manufacturing and measuring striae in glass elements and extreme ultraviolet elements are also disclosed.

公开(公告)号：DE60332429D1

公开(公告)日：2010-06-17

申请号：DE60332429

申请日：2003-03-04

Applicant: CORNING INC

Inventor： HRDINA KENNETH E ,  MAXON JOHN E ,  MCLEAN BRENT R

IPC: G02B1/00 ,  G03F7/20 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G03F1/24 ,  H01L21/027

公开(公告)号：AU2003220982A1

公开(公告)日：2003-09-22

申请号：AU2003220982

申请日：2003-03-04

Applicant: CORNING INC

Inventor： HRDINA KENNETH E ,  MAXON JOHN E ,  MCLEAN BRENT R

IPC: G02B1/00 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G03F1/24 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: Titania-containing silica glass bodies and extreme ultraviolet elements having low levels of striae are disclosed. Methods and apparatus for manufacturing and measuring striae in glass elements and extreme ultraviolet elements are also disclosed.

公开(公告)号：WO03077038A2

公开(公告)日：2003-09-18

申请号：PCT/US0306825

申请日：2003-03-04

Applicant: CORNING INC

Inventor： HRDINA KENNETH E ,  MAXON JOHN E ,  MCLEAN BRENT R

IPC: G02B1/00 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G03F1/24 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1446 ,  C03B19/1484 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/66 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70958

Abstract: Titania-containing silica glass bodies and extreme ultraviolet elements having low levels of striae are disclosed. Methods and apparatus for manufacturing and measuring striae in glass elements and extreme ultraviolet elements are also disclosed.

Abstract translation: 公开了含有二氧化钛的二氧化硅玻璃体和具有低水平条纹的极紫外线元件。 还公开了用于制造和测量玻璃元件和极紫外元件中的条纹的方法和装置。