넓은 계량 프로세스 창을 갖는 프리즘-결합 응력 계량기

    公开(公告)号:KR20200138342A

    公开(公告)日:2020-12-09

    申请号:KR20207031215

    申请日:2019-04-01

    Applicant: CORNING INC

    Abstract: 프리즘-결합시스템및 방법은표면근처스파이크영역및 깊은영역을갖는, 굴절률프로파일을가진화학적으로강화된물품의초기 TM 및 TE 모드스펙트럼을수집하기위해프리즘-결합시스템을사용하는것을포함한다. 초기 TM 및 TE 모드스펙트럼은선택허용오차내에무릎응력의정확한추정을생성할수 있는선호측정창 내에속하는지를확인하기위해검사를받는다. 그러하지않다면, 프리즘-결합시스템의측정구성은변화되고새로운 TM 및 TE 모드스펙트럼은수집된다. 이러한프로세스는선호측정창 내에새로운 TM 및 TE 모드스펙트럼이속할때까지반복된다. 새로운 TM 및 TE 모드스펙트럼은그 후에무릎응력을결정하는데사용된다. 측정구성의변화는측정파장, 인터페이싱유체두께및 인터페이싱유체굴절률중 적어도하나의변화를포함할수 있다.

Patent Agency Ranking