在基材上形成Sn-Ag-Cu三元合金薄膜的方法

    公开(公告)号:CN101048536B

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN200580036329.2

    申请日:2005-10-19

    Inventor: 三浦茂纪

    Abstract: 本发明的形成Sn-Ag-Cu三元合金薄膜的方法是通过电镀形成所述Sn-Ag-Cu三元合金薄膜的方法,其特征在于,电镀液含有Sn化合物、Ag化合物、Cu化合物、无机系螯合剂和有机系螯合剂;该无机系螯合剂是聚合磷酸盐系螯合剂或者由以下化学式(I)表示的螯合剂的任一种;所述有机系螯合剂是卟啉类、二三甲基乙酰甲烷、酞菁类或者由以下化学式(II)表示的化合物的任一种。MFX(X-Y)-…(I)(上述化学式(I)中,M表示任意的金属,X表示任意的自然数,Y表示M的氧化数。)R—(CH2CH2O)n—A…(II)(上述化学式(II)中,R表示碳数8~30的烷基,A表示CH2COONa或者CH2SO4Na,n表示自然数)。

    在基材上形成Sn-Ag-Cu三元合金薄膜的方法

    公开(公告)号:CN101048536A

    公开(公告)日:2007-10-03

    申请号:CN200580036329.2

    申请日:2005-10-19

    Inventor: 三浦茂纪

    Abstract: 本发明的形成Sn-Ag-Cu三元合金薄膜的方法是通过电镀形成所述Sn-Ag-Cu三元合金薄膜的方法,其特征在于,电镀液含有Sn化合物、Ag化合物、Cu化合物、无机系螯合剂和有机系螯合剂;该无机系螯合剂是聚合磷酸盐系螯合剂或者由以下化学式(I)表示的螯合剂的任一种;所述有机系螯合剂是卟啉类、二三甲基乙酰甲烷、酞菁类或者由以下化学式(II)表示的化合物的任一种。MFX(X-Y)-…(I)(上述化学式(I)中,M表示任意的金属,X表示任意的自然数,Y表示M的氧化数。)R-(CH2CH2O)n-A…(II)(上述化学式(II)中,R表示碳数8~30的烷基,A表示CH2COONa或者CH2SO4Na,n表示自然数)。

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