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公开(公告)号：CN101499398A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200810181897.7
申请日：2008-11-21
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2802 , H01J2237/2803 , H01J2237/2809
Abstract: 本发明揭示了用于扫描透射电子显微镜(STEM)的方法。在STEM中，用电子聚焦束(2)扫描样本(1)。跨接直径(3)能低到0.1nm。本领域普通技术人员了解，跨接直径取决于射束的孔径半角α。因此，为了获得最佳分辨率，选取跨接直径R(α)最小处的孔径半角。然而，对于厚样本而言，在样本远离跨接平面那些部分的分辨率被射束的会聚限制，从而产生了在样本表面的射束直径D。根据本发明，孔径角被选取，用以通过选择小于最佳孔径半角的孔径半角来平衡会聚和跨接直径的作用。然后射束有效地扫描样本，该射束具有在与透射粒子必须穿过的样本材料的长度L相等的长度范围内基本恒定的直径。
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公开(公告)号：CN101499398B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200810181897.7
申请日：2008-11-21
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2802 , H01J2237/2803 , H01J2237/2809
Abstract: 本发明揭示了用于扫描透射电子显微镜(STEM)的方法。在STEM中，用电子聚焦束(2)扫描样本(1)。跨接直径(3)能低到0.1nm。本领域普通技术人员了解，跨接直径取决于射束的孔径半角α。因此，为了获得最佳分辨率，选取跨接直径R(α)最小处的孔径半角。然而，对于厚样本而言，在样本远离跨接平面那些部分的分辨率被射束的会聚限制，从而产生了在样本表面的射束直径D。根据本发明，孔径角被选取，用以通过选择小于最佳孔径半角的孔径半角来平衡会聚和跨接直径的作用。然后射束有效地扫描样本，该射束具有在与透射粒子必须穿过的样本材料的长度L相等的长度范围内基本恒定的直径。
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公开(公告)号：CN119687840A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411322858.X
申请日：2024-09-20
Applicant: FEI 公司
IPC: G01B15/06 , G01N23/04 , G01N23/203 , G01N23/2273 , G01N23/2251 , G01N23/2252
Abstract: 在一些实施方案中，一种科学仪器包括电子束柱，该电子束柱被配置为跨样本扫描电子束。电子束柱包括射束消隐器，该射束消隐器被配置为响应于驱动信号而选通电子束。该科学仪器还包括电子检测器和电子控制器，该电子检测器被配置为测量已经与样本相互作用的透射或散射电子的通量，该电子控制器被配置为针对多个电子束扫描位置使用利用电子检测器测量的通量的值来采集样本的图像。电子控制器还被配置为致使驱动信号具有使图像在其中具有莫尔纹图案的选通频率。
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