-
公开(公告)号：CN107342205A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201610285009.0
申请日：2016-05-03
Applicant: 睿励科学仪器(上海)有限公司
IPC: H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/2448 , H01J2237/2449 , H01J2237/2803 , H01J2237/2813
Abstract: 本发明提供了一种带电粒子的探测装置，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的粒子入口的面积小于粒子出口的面积；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；屏蔽外壳。根据本发明的带电粒子探测装置，能够大大提高对来自样品的二次离子和二次电子的探测效率，且结构简单，易于实现，能够大大降低制作难度和成本。
-
公开(公告)号：CN102207472B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201110078266.4
申请日：2011-03-30
Applicant: FEI公司
Inventor： R.坦纳
IPC: G01N23/22
CPC classification number: H01J37/3005 , G01N1/286 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J37/30 , H01J37/3045 , H01J37/3056 , H01J2237/2611 , H01J2237/28 , H01J2237/2803 , H01J2237/2814 , H01J2237/30472 , H01J2237/3174 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。
-
公开(公告)号：CN102207472A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110078266.4
申请日：2011-03-30
Applicant: FEI公司
Inventor： R.坦纳
IPC: G01N23/22
CPC classification number: H01J37/3005 , G01N1/286 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J37/30 , H01J37/3045 , H01J37/3056 , H01J2237/2611 , H01J2237/28 , H01J2237/2803 , H01J2237/2814 , H01J2237/30472 , H01J2237/3174 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。
-
公开(公告)号：CN107342205B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201610285009.0
申请日：2016-05-03
Applicant: 睿励科学仪器(上海)有限公司
IPC: H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/2448 , H01J2237/2449 , H01J2237/2803 , H01J2237/2813
Abstract: 本发明提供了一种带电粒子的探测装置，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的粒子入口的面积小于粒子出口的面积；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；屏蔽外壳。根据本发明的带电粒子探测装置，能够大大提高对来自样品的二次离子和二次电子的探测效率，且结构简单，易于实现，能够大大降低制作难度和成本。
-
公开(公告)号：CN101499398B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200810181897.7
申请日：2008-11-21
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2802 , H01J2237/2803 , H01J2237/2809
Abstract: 本发明揭示了用于扫描透射电子显微镜(STEM)的方法。在STEM中，用电子聚焦束(2)扫描样本(1)。跨接直径(3)能低到0.1nm。本领域普通技术人员了解，跨接直径取决于射束的孔径半角α。因此，为了获得最佳分辨率，选取跨接直径R(α)最小处的孔径半角。然而，对于厚样本而言，在样本远离跨接平面那些部分的分辨率被射束的会聚限制，从而产生了在样本表面的射束直径D。根据本发明，孔径角被选取，用以通过选择小于最佳孔径半角的孔径半角来平衡会聚和跨接直径的作用。然后射束有效地扫描样本，该射束具有在与透射粒子必须穿过的样本材料的长度L相等的长度范围内基本恒定的直径。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104990773B
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201510298187.2
申请日：2011-03-30
Inventor： R.坦纳
CPC classification number: H01J37/3005 , G01N1/286 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J37/30 , H01J37/3045 , H01J37/3056 , H01J2237/2611 , H01J2237/28 , H01J2237/2803 , H01J2237/2814 , H01J2237/30472 , H01J2237/3174 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。
-
公开(公告)号：CN105229772B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201480028221.8
申请日：2014-05-14
Applicant: 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
Inventor： 新竹积
IPC: H01J37/244 , G01N23/20 , H01J37/295
CPC classification number: H01J37/244 , G01N23/20 , H01J37/2955 , H01J2237/2449 , H01J2237/24578 , H01J2237/2544 , H01J2237/2803
Abstract: 一种低能电子衍射(LEED)检测模块(100)，其包括：第一真空室，该第一真空室用于从样本的第二真空室连接到第一真空室以接收已经通过第一真空室传输的衍射电子；二维电子检测器，该二维电子检测器设置在第二真空室中以检测衍射电子；电位屏蔽件(106)，该电位屏蔽件(106)总体上沿着第一真空室的内表面和第二真空室的内表面设置；磁透镜(105)，该磁透镜(105)扩展已经通过第一真空室朝向二维电子检测器传输的衍射电子束；以及总体上平面形的能量过滤器(103)，该总体上平面形的能量过滤器(103)排斥具有比撞击在样本(109)上的探测电子束(203)能量低的电子。(109)接收衍射电子；较大的第二真空室，该较大
-
公开(公告)号：CN102645423A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210056858.0
申请日：2012-01-29
Applicant: FEI公司
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/6428 , G01N21/6458 , G01N21/6486 , G01N23/225 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/206 , H01J2237/2443 , H01J2237/24455 , H01J2237/2448 , H01J2237/2803 , H01J2237/2857
Abstract: 公开了一种用于对生物样品内的荧光标记物例如荧光蛋白或者量子点进行成像和定位的方法和系统。利用重组遗传技术使“报告”基因插入很多物种中是被广泛认可的。特别是绿色荧光蛋白(GFPs)和范围从蓝色至黄色的其经遗传修饰的变体易于剪接到很多基因组中的目标基因(GoIs)位点处，其中GFPs被表达，对于由GoIs编码的目标蛋白质(PoIs)的功能没有明显影响。生物学家的一个目标是细胞内PoIs的更精确定位。本发明是利用带电粒子束诱导的对GFPs的破坏使PoI定位更加快速和精确的方法和系统。提出了系统的多个实施方案以实施本方法，以及相对不受高统计噪声水平影响的图像处理方法。
-
公开(公告)号：CN107301940A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201611028040.2
申请日：2016-11-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司X光显微镜股份有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/24578 , H01J2237/24585 , H01J2237/2803 , H01J2237/2813
Abstract: 本发明涉及一种用于使用生成带电粒子束的带电粒子束装置来分析物体的方法。此外，本发明涉及一种用于执行这种方法的带电粒子束装置。所述方法包括将所述物体的图像的对应于体积单元的体积单元表面的一部分分割为具有第一颜色级和第二颜色级的区域以及确定相应区域分数。所述方法包括通过对所述颜色级与存储在数据库中的信息进行比较而识别具有各颜色级的多个粒子的步骤。通过比较所述颜色级，可以识别可包括在所述体积单元中的可能粒子，例如，矿物。
-
公开(公告)号：CN102645423B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201210056858.0
申请日：2012-01-29
Applicant: FEI公司
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/6428 , G01N21/6458 , G01N21/6486 , G01N23/225 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/206 , H01J2237/2443 , H01J2237/24455 , H01J2237/2448 , H01J2237/2803 , H01J2237/2857
Abstract: 公开了一种用于对生物样品内的荧光标记物例如荧光蛋白或者量子点进行成像和定位的方法和系统。利用重组遗传技术使“报告”基因插入很多物种中是被广泛认可的。特别是绿色荧光蛋白(GFPs)和范围从蓝色至黄色的其经遗传修饰的变体易于剪接到很多基因组中的目标基因(GoIs)位点处，其中GFPs被表达，对于由GoIs编码的目标蛋白质(PoIs)的功能没有明显影响。生物学家的一个目标是细胞内PoIs的更精确定位。本发明是利用带电粒子束诱导的对GFPs的破坏使PoI定位更加快速和精确的方法和系统。提出了系统的多个实施方案以实施本方法，以及相对不受高统计噪声水平影响的图像处理方法。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
266
records
(took 0.019 seconds)
