公开(公告)号：CN101315859A

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200810110050.X

申请日：2008-05-29

Applicant: FEI公司

Inventor： D·班卡茨 ,  J·S·法伯

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  G02B21/34 ,  G01N13/10

CPC classification number: G02B21/34 ,  H01J37/026 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2482

Abstract: 本发明涉及用于带电粒子仪器中的样品承载器及其使用方法，具体而言，本发明涉及光学显微镜载片(10)在诸如电子显微镜或聚焦离子束仪器的带电粒子仪器中的用途。传统的显微镜载片不适合用于电子显微镜中，因为它们是绝缘的，并且当在电子显微镜中观察时将由于碰撞的带电粒子束而充电。然而，存在以例如氧化铟锡(ITO)的导电层涂覆的显微镜载片。所述显微镜载片通常用于通过使电流流过导电层而对安装在载片上的对象进行加热。实验表明通过将导电层连接到例如地电位，并由此形成用于碰撞带电粒子的返回路径且从而避免充电，这些显微镜载片可有利地用于带电粒子仪器中。本发明还涉及还配有光学显微镜(130)的带电粒子仪器。