公开(公告)号：CN102539006A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110377983.7

申请日：2011-11-24

Applicant: FEI公司

Inventor： S.H.L.范登博姆 ,  P.多纳 ,  L.F.T.克瓦克曼 ,  U.吕肯 ,  H-W.雷米吉 ,  H.N.斯林格兰 ,  M.弗海杰恩 ,  G.J.范德瓦特

IPC: G01K11/00

CPC classification number: G01K5/68 ,  G01K11/20 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/24585

Abstract: 本发明涉及一种用于测量带电粒子光学装置中的样本载体的温度的方法，其特征在于该方法包括用带电粒子束观察样本载体，该观察给出关于样本载体的温度的信息。本发明基于带电粒子光学装置（诸如TEM、STEM、SEM或者FIB）可以用来观察样本载体的与温度有关的改变这样的领悟。改变可以是（例如双金属物质的）机械改变、（例如钙钛矿的）结晶改变和（强度或者衰减时间中的）的发光改变。在一个优选实施例中，样本载体表现出两个双金属物质（210a，210b），其表现出在相反方向上弯曲的具有不同热膨胀系数的金属（208，210）。使用两个双金属物质之间的距离作为温度计。