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公开(公告)号：CN102376517B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201110251918.X
申请日：2011-08-24
Applicant: FEI公司
Inventor： U.吕肯 , R.肖恩马克斯 , F.J.P.舒尔曼斯
IPC: H01J37/244 , H04N5/335 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J2237/2446
Abstract: 本发明涉及用于透射电子显微镜的检测器系统。在一种透射电子显微镜检测器系统中，在图像采集时间段期间从像素读出图像数据并且对其进行分析。根据所述分析的结果，修改图像采集过程。例如，所述分析可以指示在数据中包含比如充电或起泡之类的图像伪像，并且可以从最终图像中去除包含伪像的数据。CMOS检测器提供在高数据速率下选择性地读出像素，从而允许实时地自适应成像。
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公开(公告)号：CN102737933A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210107945.4
申请日：2012-04-13
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/153 , H01J2237/1532
Abstract: 本发明涉及TEM的无失真消像散。本发明涉及一种带电粒子装置，该装置配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源（202），在所述束的下游跟随有聚光器光学器件（208）、跟随有样本位置、跟随有物镜（214）、跟随有成像光学器件（216）并且跟随有检测器系统（218，224），其中在物镜与检测器系统之间，第一消像散器（250）被定位用于在将样本（210）成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于物镜与检测器系统之间，因而产生第三自由度用于减少线性失真。本发明还涉及一种使用所述三个消像散器的方法。
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公开(公告)号：CN102384922B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201110246288.7
申请日：2011-08-25
Applicant: FEI公司
Inventor： U.吕肯 , F.J.P.舒尔曼斯 , C.S.库伊曼
IPC: G01N23/08
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/26 , H01J2237/05 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种用于透射电子显微镜的检测器系统，其包括用于记录图样的第一检测器和用于记录所述图样特征的位置的第二检测器。第二检测器优选地是位置灵敏检测器，其提供可以被用作反馈以便稳定所述图样在第一检测器上的位置的精确且快速的位置信息。在一个实施例中，第一检测器检测电子能量损失电子谱，并且位于第一检测器后方并检测穿过第一检测器的电子的第二检测器检测零损失峰的位置并且调节电子路径，以便稳定所述谱在第一检测器上的位置。
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公开(公告)号：CN102737933B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210107945.4
申请日：2012-04-13
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/153 , H01J2237/1532
Abstract: 本发明涉及TEM的无失真消像散。本发明涉及一种带电粒子装置，该装置配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源（202），在所述束的下游跟随有聚光器光学器件（208）、跟随有样本位置、跟随有物镜（214）、跟随有成像光学器件（216）并且跟随有检测器系统（218，224），其中在物镜与检测器系统之间，第一消像散器（250）被定位用于在将样本（210）成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于物镜与检测器系统之间，因而产生第三自由度用于减少线性失真。本发明还涉及一种使用所述三个消像散器的方法。
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公开(公告)号：CN103201609A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201180045177.8
申请日：2011-09-21
Applicant: FEI公司
Inventor： E.范东塞拉尔 , M.卡雷曼(MatthiaKarreman) , H.格里岑 , T.弗里普斯 , U.吕肯
Abstract: 本发明涉及一种制备用于在电子显微镜和荧光显微镜下观察的切片的方法。通常这些切片通过例如Tokuyama方法制作，该方法涉及在低温下进行冷冻置换和固定。问题是由于化学品(有机溶剂和固定剂)的扩散速率极低，从样品到切片需要花费大量时间。本发明包括将样品在低温下切片然后固定。由于所述切片比样品(通常>1μm)薄得多(例如100nm或更少)，从样品到准备好观察的切片所花费的总时间小于8小时。这使得在一个工作日内获得卫生保健相关的结果成为可能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103037175A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210370953.8
申请日：2012-09-29
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H04N5/335 , H01L27/146 , H04N5/32 , H04N5/3575 , H04N5/374
Abstract: 本发明涉及用于用图像传感器来获取数据的方法。本发明提出仅在许多次读出之后使像素复位。这是基于通常需要许多事件（通常约10个）来促成全像素的认识。通过在许多图像之后复位或者当图像的一个像素显示出在预定值之上的信号时（例如0.8×满阱容量），使用获取信号之后的复位，当与现有技术方法相比时，能够使图像速度几乎加倍。
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公开(公告)号：CN102376517A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110251918.X
申请日：2011-08-24
Applicant: FEI公司
Inventor： U.吕肯 , R.肖恩马克斯 , F.J.P.舒尔曼斯
IPC: H01J37/244 , H04N5/335 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J2237/2446
Abstract: 本发明涉及用于透射电子显微镜的检测器系统。在一种透射电子显微镜检测器系统中，在图像采集时间段期间从像素读出图像数据并且对其进行分析。根据所述分析的结果，修改图像采集过程。例如，所述分析可以指示在数据中包含比如充电或起泡之类的图像伪像，并且可以从最终图像中去除包含伪像的数据。CMOS检测器提供在高数据速率下选择性地读出像素，从而允许实时地自适应成像。
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公开(公告)号：CN103037175B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210370953.8
申请日：2012-09-29
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H04N5/335 , H01L27/146 , H04N5/32 , H04N5/3575 , H04N5/374
Abstract: 本发明涉及用于用图像传感器来获取数据的方法。本发明提出仅在许多次读出之后使像素复位。这是基于通常需要许多事件（通常约10个）来促成全像素的认识。通过在许多图像之后复位或者当图像的一个像素显示出在预定值之上的信号时（例如0.8×满阱容量），使用获取信号之后的复位，当与现有技术方法相比时，能够使图像速度几乎加倍。
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公开(公告)号：CN102539006A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110377983.7
申请日：2011-11-24
Applicant: FEI公司
Inventor： S.H.L.范登博姆 , P.多纳 , L.F.T.克瓦克曼 , U.吕肯 , H-W.雷米吉 , H.N.斯林格兰 , M.弗海杰恩 , G.J.范德瓦特
IPC: G01K11/00
CPC classification number: G01K5/68 , G01K11/20 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2001 , H01J2237/24585
Abstract: 本发明涉及一种用于测量带电粒子光学装置中的样本载体的温度的方法，其特征在于该方法包括用带电粒子束观察样本载体，该观察给出关于样本载体的温度的信息。本发明基于带电粒子光学装置（诸如TEM、STEM、SEM或者FIB）可以用来观察样本载体的与温度有关的改变这样的领悟。改变可以是（例如双金属物质的）机械改变、（例如钙钛矿的）结晶改变和（强度或者衰减时间中的）的发光改变。在一个优选实施例中，样本载体表现出两个双金属物质（210a，210b），其表现出在相反方向上弯曲的具有不同热膨胀系数的金属（208，210）。使用两个双金属物质之间的距离作为温度计。
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公开(公告)号：CN102384922A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110246288.7
申请日：2011-08-25
Applicant: FEI公司
Inventor： U.吕肯 , F.J.P.舒尔曼斯 , C.S.库伊曼
IPC: G01N23/08
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/26 , H01J2237/05 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种用于透射电子显微镜的检测器系统，其包括用于记录图样的第一检测器和用于记录所述图样特征的位置的第二检测器。第二检测器优选地是位置灵敏检测器，其提供可以被用作反馈以便稳定所述图样在第一检测器上的位置的精确且快速的位置信息。在一个实施例中，第一检测器检测电子能量损失电子谱，并且位于第一检测器后方并检测穿过第一检测器的电子的第二检测器检测零损失峰的位置并且调节电子路径，以便稳定所述谱在第一检测器上的位置。
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