公开(公告)号：CN102539006A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110377983.7

申请日：2011-11-24

Applicant: FEI公司

Inventor： S.H.L.范登博姆 ,  P.多纳 ,  L.F.T.克瓦克曼 ,  U.吕肯 ,  H-W.雷米吉 ,  H.N.斯林格兰 ,  M.弗海杰恩 ,  G.J.范德瓦特

IPC: G01K11/00

CPC classification number: G01K5/68 ,  G01K11/20 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/24585

Abstract: 本发明涉及一种用于测量带电粒子光学装置中的样本载体的温度的方法，其特征在于该方法包括用带电粒子束观察样本载体，该观察给出关于样本载体的温度的信息。本发明基于带电粒子光学装置（诸如TEM、STEM、SEM或者FIB）可以用来观察样本载体的与温度有关的改变这样的领悟。改变可以是（例如双金属物质的）机械改变、（例如钙钛矿的）结晶改变和（强度或者衰减时间中的）的发光改变。在一个优选实施例中，样本载体表现出两个双金属物质（210a，210b），其表现出在相反方向上弯曲的具有不同热膨胀系数的金属（208，210）。使用两个双金属物质之间的距离作为温度计。

公开(公告)号：CN105908150B

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201610103190.9

申请日：2016-02-25

Applicant: FEI 公司

Inventor： J.J.L.穆德斯 ,  P.H.F.特罗姆佩纳亚斯 ,  P.多纳

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C14/221 ,  B05B1/005 ,  B05B1/14 ,  B05B7/24 ,  H01J37/30 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及用于在粒子光学仪器的真空室中施用至少两种流体的喷气系统(GIS)，喷气系统具有两个或更多个通道(102,110)，各个通道在第一侧连接至容纳流体的相关联的贮藏器，并且在另一侧具有相关联的出口开口，出口侧经由具有喷嘴开口的喷嘴而单独地退出至GIS的外侧，其特征在于，至少两个出口开口(106,108)以比出口开口附近的通道的直径更小的距离分离，优选地，彼此同中心。本发明还涉及前述GIS的使用，其中中心喷嘴引导高通量的例如氧气，而外部的同中心的喷嘴将例如MeCpPtMe3的金属前驱体以更小两个数量级的通量引导至样品。在单步骤式沉积方法中，通过高通量的氧气而使纯化的金属沉积。喷嘴能够形成为附加喷嘴，使得能够将现有的GIS升级。优选地通过使用例如钛的3‑D打印技术而制造喷嘴。

公开(公告)号：CN103258705A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310050077.5

申请日：2013-02-08

Applicant: FEI公司 ,  代夫特科技大学

Inventor： H.W.詹德伯根 ,  P.多纳 ,  G.N.A.范维恩

IPC: H01J37/26 ,  B08B9/032

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及一种用于与环境室（101）和电子显微镜协作的固持器组件，环境室呈现流体入口（103），电子显微镜呈现用于使电子显微镜的可抽空部分与电子显微镜的外部分离的真空壁（110），固持器组件包括用于形成与电子显微镜的密封接口的电子显微镜接口，固持器组件包括用于形成与环境室（101）的流体入口（103）的密封对接的环境室接口，并且固持器组件包括用于将流体供给连接到环境室（101）的流体入口（103）的管路（126），特征在于：固持器组件包括第一和第二部分，第一部分能够从第二部分拆卸，第一部分包括管路（126）和环境室接口并且第二部分包括电子显微镜接口，作为结果，第一部分能够在不使第二部分暴露于高温的情况下在所述高温下清洁第一部分。

公开(公告)号：CN108807120A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201810393514.6

申请日：2018-04-27

Applicant: FEI 公司

Inventor： A.莫哈姆马迪-格海达里 ,  A.亨斯特拉 ,  P.C.蒂伊梅杰 ,  K.刘 ,  P.多纳 ,  G.A.施温德 ,  G.J.范德瓦特 ,  M.比斯乔夫

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/12 ,  H01J37/143

Abstract: 公开了带电粒子显微镜中的枪透镜设计。一种带电粒子显微镜，包括：‑真空外壳；‑源，用于产生带电粒子的束；‑样品支架，用于保持样品；‑照明器，被提供在所述源和样品支架之间，并且在所述束的传播方向上包括：▪源透镜；▪聚光器系统；‑检测器，用于检测响应于由所述束的照射而从样品发出的辐射，其中，所述源透镜是复合透镜，其在所述传播方向上包括：‑磁透镜，包括永磁体，所述永磁体被部署在所述真空外壳之外但是在其内产生磁场；‑可变静电透镜。

公开(公告)号：CN107017143A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201610705161.X

申请日：2016-08-23

Applicant: FEI 公司

Inventor： P.多纳 ,  L.梅勒

IPC: H01J37/20

Abstract: 本发明涉及用于与纳米反应器和电子显微镜协作的保持器组件，其有保持纳米反应器的远端部，电子显微镜用电子束照射有分别带第一和第二电子透明窗的第一和第二芯片的纳米反应器，芯片封闭封闭体积，电子透明窗对齐，第一芯片有流体入口流体出口，在工作中远端部在电子显微镜的抽空部分中，纳米反应器附接远端部，其有流体供应通道和流体出口管，流体供应密封元件和流体出口密封元件密封流体入口与流体供应通道间的连接，保持器组件包括凹部，其当纳米反应器附接到保持器组件时在远端部与第一平坦层之间形成由预真空通道抽空的密封预真空体积，上述密封元件暴露于空预真空体积使得经由该密封元件的流体的泄漏经由预真空通道被泵离而不进入抽空部分。

公开(公告)号：CN105908150A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201610103190.9

申请日：2016-02-25

Applicant: FEI公司

Inventor： J.J.L.穆德斯 ,  P.H.F.特罗姆佩纳亚斯 ,  P.多纳

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C14/221 ,  B05B1/005 ,  B05B1/14 ,  B05B7/24 ,  H01J37/30 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749 ,  C23C16/45574

Abstract: 本发明涉及用于在粒子光学仪器的真空室中施用至少两种流体的喷气系统(GIS)，喷气系统具有两个或更多个通道(102,110)，各个通道在第一侧连接至容纳流体的相关联的贮藏器，并且在另一侧具有相关联的出口开口，出口侧经由具有喷嘴开口的喷嘴而单独地退出至GIS的外侧，其特征在于，至少两个出口开口(106,108)以比出口开口附近的通道的直径更小的距离分离，优选地，彼此同中心。本发明还涉及前述GIS的使用，其中中心喷嘴引导高通量的例如氧气，而外部的同中心的喷嘴将例如MeCpPtMe3的金属前驱体以更小两个数量级的通量引导至样品。在单步骤式沉积方法中，通过高通量的氧气而使纯化的金属沉积。喷嘴能够形成为附加喷嘴，使得能够将现有的GIS升级。优选地通过使用例如钛的3?D打印技术而制造喷嘴。