公开(公告)号：CN102376516A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110222290.0

申请日：2011-08-04

Applicant: FEI公司

Inventor： G.C.范霍夫滕 ,  J.洛夫 ,  F.J.P.舒尔曼斯 ,  M.A.W.斯特克伦堡 ,  R.亨德森 ,  A.R.法鲁奇 ,  G.J.麦克穆兰 ,  R.A.D.图尔切塔 ,  N.C.古里尼

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01L27/146

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及薄电子探测器中的反向散射降低。在直接电子探测器中，防止电子从传感器下面到探测器部中的反向散射。在某些实施例中，在传感器下面保持空空间。在其它实施例中，在传感器下面的结构包括：或者延伸到传感器或者从传感器延伸以捕获电子的几何形状，诸如多个高纵横比通道；或者用于偏转通过传感器的电子的斜向表面的结构。

公开(公告)号：CN102376516B

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201110222290.0

申请日：2011-08-04

Applicant: FEI公司

Inventor： G.C.范霍夫滕 ,  J.洛夫 ,  F.J.P.舒尔曼斯 ,  M.A.W.斯特克伦堡 ,  R.亨德森 ,  A.R.法鲁奇 ,  G.J.麦克穆兰 ,  R.A.D.图尔切塔 ,  N.C.古里尼

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01L27/146

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及薄电子探测器中的反向散射降低。在直接电子探测器中，防止电子从传感器下面到探测器部中的反向散射。在某些实施例中，在传感器下面保持空间。在其它实施例中，在传感器下面的结构包括：或者延伸到传感器或者从传感器延伸以捕获电子的几何形状，诸如多个高纵横比通道；或者用于偏转通过传感器的电子的斜向表面的结构。