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公开(公告)号：CN102376517A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110251918.X
申请日：2011-08-24
Applicant: FEI公司
Inventor： U.吕肯 , R.肖恩马克斯 , F.J.P.舒尔曼斯
IPC: H01J37/244 , H04N5/335 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J2237/2446
Abstract: 本发明涉及用于透射电子显微镜的检测器系统。在一种透射电子显微镜检测器系统中，在图像采集时间段期间从像素读出图像数据并且对其进行分析。根据所述分析的结果，修改图像采集过程。例如，所述分析可以指示在数据中包含比如充电或起泡之类的图像伪像，并且可以从最终图像中去除包含伪像的数据。CMOS检测器提供在高数据速率下选择性地读出像素，从而允许实时地自适应成像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102376517B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201110251918.X
申请日：2011-08-24
Applicant: FEI公司
Inventor： U.吕肯 , R.肖恩马克斯 , F.J.P.舒尔曼斯
IPC: H01J37/244 , H04N5/335 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J2237/2446
Abstract: 本发明涉及用于透射电子显微镜的检测器系统。在一种透射电子显微镜检测器系统中，在图像采集时间段期间从像素读出图像数据并且对其进行分析。根据所述分析的结果，修改图像采集过程。例如，所述分析可以指示在数据中包含比如充电或起泡之类的图像伪像，并且可以从最终图像中去除包含伪像的数据。CMOS检测器提供在高数据速率下选择性地读出像素，从而允许实时地自适应成像。
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公开(公告)号：CN102384922B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201110246288.7
申请日：2011-08-25
Applicant: FEI公司
Inventor： U.吕肯 , F.J.P.舒尔曼斯 , C.S.库伊曼
IPC: G01N23/08
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/26 , H01J2237/05 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种用于透射电子显微镜的检测器系统，其包括用于记录图样的第一检测器和用于记录所述图样特征的位置的第二检测器。第二检测器优选地是位置灵敏检测器，其提供可以被用作反馈以便稳定所述图样在第一检测器上的位置的精确且快速的位置信息。在一个实施例中，第一检测器检测电子能量损失电子谱，并且位于第一检测器后方并检测穿过第一检测器的电子的第二检测器检测零损失峰的位置并且调节电子路径，以便稳定所述谱在第一检测器上的位置。
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公开(公告)号：CN102376516A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110222290.0
申请日：2011-08-04
Applicant: FEI公司
Inventor： G.C.范霍夫滕 , J.洛夫 , F.J.P.舒尔曼斯 , M.A.W.斯特克伦堡 , R.亨德森 , A.R.法鲁奇 , G.J.麦克穆兰 , R.A.D.图尔切塔 , N.C.古里尼
IPC: H01J37/22 , H01J37/26 , H01L27/146
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/2441 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/2447 , H01J2237/24578 , H01J2237/26 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及薄电子探测器中的反向散射降低。在直接电子探测器中，防止电子从传感器下面到探测器部中的反向散射。在某些实施例中，在传感器下面保持空空间。在其它实施例中，在传感器下面的结构包括：或者延伸到传感器或者从传感器延伸以捕获电子的几何形状，诸如多个高纵横比通道；或者用于偏转通过传感器的电子的斜向表面的结构。
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公开(公告)号：CN102376516B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201110222290.0
申请日：2011-08-04
Applicant: FEI公司
Inventor： G.C.范霍夫滕 , J.洛夫 , F.J.P.舒尔曼斯 , M.A.W.斯特克伦堡 , R.亨德森 , A.R.法鲁奇 , G.J.麦克穆兰 , R.A.D.图尔切塔 , N.C.古里尼
IPC: H01J37/22 , H01J37/26 , H01L27/146
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/2441 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/2447 , H01J2237/24578 , H01J2237/26 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及薄电子探测器中的反向散射降低。在直接电子探测器中，防止电子从传感器下面到探测器部中的反向散射。在某些实施例中，在传感器下面保持空间。在其它实施例中，在传感器下面的结构包括：或者延伸到传感器或者从传感器延伸以捕获电子的几何形状，诸如多个高纵横比通道；或者用于偏转通过传感器的电子的斜向表面的结构。
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公开(公告)号：CN102384922A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110246288.7
申请日：2011-08-25
Applicant: FEI公司
Inventor： U.吕肯 , F.J.P.舒尔曼斯 , C.S.库伊曼
IPC: G01N23/08
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/26 , H01J2237/05 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种用于透射电子显微镜的检测器系统，其包括用于记录图样的第一检测器和用于记录所述图样特征的位置的第二检测器。第二检测器优选地是位置灵敏检测器，其提供可以被用作反馈以便稳定所述图样在第一检测器上的位置的精确且快速的位置信息。在一个实施例中，第一检测器检测电子能量损失电子谱，并且位于第一检测器后方并检测穿过第一检测器的电子的第二检测器检测零损失峰的位置并且调节电子路径，以便稳定所述谱在第一检测器上的位置。
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