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公开(公告)号：CN103037175A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210370953.8
申请日：2012-09-29
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H04N5/335 , H01L27/146 , H04N5/32 , H04N5/3575 , H04N5/374
Abstract: 本发明涉及用于用图像传感器来获取数据的方法。本发明提出仅在许多次读出之后使像素复位。这是基于通常需要许多事件（通常约10个）来促成全像素的认识。通过在许多图像之后复位或者当图像的一个像素显示出在预定值之上的信号时（例如0.8×满阱容量），使用获取信号之后的复位，当与现有技术方法相比时，能够使图像速度几乎加倍。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103037175B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210370953.8
申请日：2012-09-29
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H04N5/335 , H01L27/146 , H04N5/32 , H04N5/3575 , H04N5/374
Abstract: 本发明涉及用于用图像传感器来获取数据的方法。本发明提出仅在许多次读出之后使像素复位。这是基于通常需要许多事件（通常约10个）来促成全像素的认识。通过在许多图像之后复位或者当图像的一个像素显示出在预定值之上的信号时（例如0.8×满阱容量），使用获取信号之后的复位，当与现有技术方法相比时，能够使图像速度几乎加倍。
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公开(公告)号：CN102376516B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201110222290.0
申请日：2011-08-04
Applicant: FEI公司
Inventor： G.C.范霍夫滕 , J.洛夫 , F.J.P.舒尔曼斯 , M.A.W.斯特克伦堡 , R.亨德森 , A.R.法鲁奇 , G.J.麦克穆兰 , R.A.D.图尔切塔 , N.C.古里尼
IPC: H01J37/22 , H01J37/26 , H01L27/146
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/2441 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/2447 , H01J2237/24578 , H01J2237/26 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及薄电子探测器中的反向散射降低。在直接电子探测器中，防止电子从传感器下面到探测器部中的反向散射。在某些实施例中，在传感器下面保持空间。在其它实施例中，在传感器下面的结构包括：或者延伸到传感器或者从传感器延伸以捕获电子的几何形状，诸如多个高纵横比通道；或者用于偏转通过传感器的电子的斜向表面的结构。
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公开(公告)号：CN102737937B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201210099031.8
申请日：2012-04-06
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/244 , H01J37/302 , H01J2237/0203 , H01J2237/043 , H01J2237/065 , H01J2237/22 , H01J2237/2441 , H01J2237/24455 , H01J2237/24507 , H01J2237/26 , H01J2237/262 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及在带电粒子射束设备中保护辐射检测器的方法。本发明涉及一种在TEM中保护直接电子检测器（151）的方法。本发明包括在设置新的射束参数诸如改变聚光透镜（104）、投影器透镜（106）和/或射束能量的激发之前预测检测器上的电流密度。该预测是使用光学模型或者查表实现的。当预测的检测器暴露小于预定数值时，实现所期改变，否则产生警告消息并且推迟设置的改变。
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公开(公告)号：CN102737937A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210099031.8
申请日：2012-04-06
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/244 , H01J37/302 , H01J2237/0203 , H01J2237/043 , H01J2237/065 , H01J2237/22 , H01J2237/2441 , H01J2237/24455 , H01J2237/24507 , H01J2237/26 , H01J2237/262 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及在带电粒子射束设备中保护辐射检测器的方法。本发明涉及一种在TEM中保护直接电子检测器（151）的方法。本发明包括在设置新的射束参数诸如改变聚光透镜（104）、投影器透镜（106）和/或射束能量的激发之前预测检测器上的电流密度。该预测是使用光学模型或者查表实现的。当预测的检测器暴露小于预定数值时，实现所期改变，否则产生警告消息并且推迟设置的改变。
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公开(公告)号：CN102376516A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110222290.0
申请日：2011-08-04
Applicant: FEI公司
Inventor： G.C.范霍夫滕 , J.洛夫 , F.J.P.舒尔曼斯 , M.A.W.斯特克伦堡 , R.亨德森 , A.R.法鲁奇 , G.J.麦克穆兰 , R.A.D.图尔切塔 , N.C.古里尼
IPC: H01J37/22 , H01J37/26 , H01L27/146
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/2441 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/2447 , H01J2237/24578 , H01J2237/26 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及薄电子探测器中的反向散射降低。在直接电子探测器中，防止电子从传感器下面到探测器部中的反向散射。在某些实施例中，在传感器下面保持空空间。在其它实施例中，在传感器下面的结构包括：或者延伸到传感器或者从传感器延伸以捕获电子的几何形状，诸如多个高纵横比通道；或者用于偏转通过传感器的电子的斜向表面的结构。
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