公开(公告)号：CN102637571A

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN201210032344.1

申请日：2012-02-14

Applicant: FEI公司

Inventor： P.哈拉文卡 ,  M.昂科夫斯基

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N21/6447 ,  G01N2201/08 ,  H01J37/224 ,  H01J37/226 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种利用带电粒子显微镜研究样本的方法，包括步骤：-提供带电粒子显微镜，具有粒子光柱；-利用粒子光柱使带电粒子的成像射束对准样本；-用成像射束照射样本，其结果引起输出辐射通量从样本发出；-利用检测器检查所述输出辐射的至少一部分，该方法包括以下附加步骤：-将所述检测器配备为包括与提供可调电偏置的电源相连接的固态光电倍增器；-调整所述偏置以便调整固态光电倍增器的增益值；-匹配所述增益值与所述通量的大小以便使得固态光电倍增器在其饱和阈值以下操作。固态光电倍增器有时也指的是硅光电倍增器（SiPM）、芯片内像素化的雪崩光电二极管阵列（具有共享/公共检测电路）、MPPC®等。

公开(公告)号：CN102637571B

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201210032344.1

申请日：2012-02-14

Applicant: FEI公司

Inventor： P.哈拉文卡 ,  M.昂科夫斯基

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N21/6447 ,  G01N2201/08 ,  H01J37/224 ,  H01J37/226 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种利用带电粒子显微镜研究样本的方法，包括步骤：-提供带电粒子显微镜，具有粒子光柱；-利用粒子光柱使带电粒子的成像射束对准样本；-用成像射束照射样本，其结果引起输出辐射通量从样本发出；-利用检测器检查所述输出辐射的至少一部分，该方法包括以下附加步骤：-将所述检测器配备为包括与提供可调电偏置的电源相连接的固态光电倍增器；-调整所述偏置以便调整固态光电倍增器的增益值；-匹配所述增益值与所述通量的大小以便使得固态光电倍增器在其饱和阈值以下操作。固态光电倍增器有时也指的是硅光电倍增器（SiPM）、芯片内像素化的雪崩光电二极管阵列（具有共享/公共检测电路）、MPPC？等。

公开(公告)号：CN102760628A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201210125537.1

申请日：2012-04-26

Applicant: FEI公司

Inventor： L.图马 ,  P.哈拉文卡 ,  P.西塔尔 ,  R.塞斯卡 ,  B.塞达

IPC: H01J37/244 ,  G01T1/20

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04926 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24465

Abstract: 本发明涉及用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器。本发明涉及一种镜筒内反向散射电子检测器，该检测器放置于用于SEM的组合式静电/磁物镜中。将检测器形成为带电粒子敏感表面，优选为闪烁体盘（406），其充当电极面之一（110）从而形成静电聚焦场。在闪烁体中生成的光子由光子检测器（202，408）（比如光电二极管或者多像素光子检测器）检测。物镜可以配备有用于检测被保持与轴更接近的次级电子的另一电子检测器（116）。光导（204，404）可以用来赋予在光子检测器与闪烁体之间的电绝缘。