公开(公告)号：CN107026065A

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201610705341.8

申请日：2016-08-23

Applicant: FEI 公司

Inventor： B.塞达 ,  L.图马 ,  A.亨斯特拉

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/09

Abstract: 本发明涉及具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜。一种产生用于在带电粒子显微镜中使用的带电粒子的经校正射束的方法，包括以下步骤：– 提供带电粒子的非单能输入射束；– 将所述输入射束传递经过光学模块，所述光学模块包括以下的串联布置：·像散矫正器，从而产生具有特定单能线聚焦方向的经像散补偿、能量色散的中间射束；·射束选择器，包括狭缝，所述狭缝被旋转取向以便将狭缝的方向与所述线聚焦方向匹配，从而产生包括所述中间射束的能量辨别部分的输出射束。

公开(公告)号：CN104241066A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410245642.8

申请日：2014-06-05

Applicant: FEI公司

Inventor： B.塞达 ,  L.图马 ,  P.赫拉文卡 ,  P.斯塔

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/12 ,  H01J37/09 ,  H01J37/3005 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/20207

Abstract: 本发明公开了一种对带电粒子设备中的样品成像的方法。本发明涉及配备有离子束柱(102)和电子束柱(101)的双束设备，电子束柱包含静电浸没透镜(116)。当倾斜样品(104)时，静电浸没场失真并且失去绕电子光轴的对称。结果倾斜引入有害影响，诸如横向色像差和束位移。另外在样品的非倾斜位置中检测二次电子或后向散射电子的柱内检测器(141)将在当倾斜样品时归因于失去浸没场对称而表现出这些电子的混合。本发明示出如何通过关于最靠近样品的接地电极对平台进行偏置来消除或至少减少这些缺点。

公开(公告)号：CN102760628A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201210125537.1

申请日：2012-04-26

Applicant: FEI公司

Inventor： L.图马 ,  P.哈拉文卡 ,  P.西塔尔 ,  R.塞斯卡 ,  B.塞达

IPC: H01J37/244 ,  G01T1/20

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04926 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24465

Abstract: 本发明涉及用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器。本发明涉及一种镜筒内反向散射电子检测器，该检测器放置于用于SEM的组合式静电/磁物镜中。将检测器形成为带电粒子敏感表面，优选为闪烁体盘（406），其充当电极面之一（110）从而形成静电聚焦场。在闪烁体中生成的光子由光子检测器（202，408）（比如光电二极管或者多像素光子检测器）检测。物镜可以配备有用于检测被保持与轴更接近的次级电子的另一电子检测器（116）。光导（204，404）可以用来赋予在光子检测器与闪烁体之间的电绝缘。

公开(公告)号：CN104241066B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201410245642.8

申请日：2014-06-05

Applicant: FEI 公司

Inventor： B.塞达 ,  L.图马 ,  P.赫拉文卡 ,  P.斯塔

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/12 ,  H01J37/09 ,  H01J37/3005 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/20207

Abstract: 公开了一种对带电粒子设备中的样品成像的方法。本发明涉及配备有离子束柱(102)和电子束柱(101)的双束设备，电子束柱包含静电浸没透镜(116)。当倾斜样品(104)时，静电浸没场失真并且失去绕电子光轴的对称。结果倾斜引入有害影响，诸如横向色像差和束位移。另外在样品的非倾斜位置中检测二次电子或后向散射电子的柱内检测器(141)将在当倾斜样品时归因于失去浸没场对称而表现出这些电子的混合。本发明示出如何通过关于最靠近样品的接地电极对平台进行偏置来消除或至少减少这些缺点。