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公开(公告)号：CN102760628B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201210125537.1
申请日：2012-04-26
IPC: H01J37/244 , G01T1/20
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/145 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/04926 , H01J2237/2443 , H01J2237/24465
Abstract: 本发明涉及用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器。本发明涉及一种镜筒内反向散射电子检测器，该检测器放置于用于SEM的组合式静电/磁物镜中。将检测器形成为带电粒子敏感表面，优选为闪烁体盘（406），其充当电极面之一（110）从而形成静电聚焦场。在闪烁体中生成的光子由光子检测器（202，408）（比如光电二极管或者多像素光子检测器）检测。物镜可以配备有用于检测被保持与轴更接近的次级电子的另一电子检测器116）。光导（204，404）可以用来赋予在光子检测器与闪烁体之间的电绝缘。
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公开(公告)号：CN103681186A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310405430.7
申请日：2013-09-09
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/14 , H01J37/145 , H01J37/28 , H01J2237/1035 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/248
Abstract: 一种用于扫描电子显微镜的复合物镜，所述透镜包括由第一透镜线圈激励的传统的磁透镜、由第二透镜线圈激励的浸没磁透镜以及由样品和静电透镜电极之间的电压差激励的浸没静电透镜和静电透镜电极。对于静电浸没透镜的预定激励，利用第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励的若干组合，电子射束可在样品上聚焦。电子检测器定位成靠近样品处以检测反向散射电子（BSE）。发明人发现当例如通过将检测器形成为像素显示的检测器或显示环（205，206，207）的检测器，检测器能够区分靠近轴冲击检测器的BSE（202）和更远离轴冲击检测器的BSE（204）时，可获得更多BSE的信息。发明人还发现，通过调谐第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励比率，到BSE冲击检测器的轴的距离可改变，因此复合透镜可被制成用作能量可选择的检测器。
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公开(公告)号：CN108885187A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780019776.X
申请日：2017-01-27
Applicant: 汉民微测科技股份有限公司
IPC: G01N23/2251
CPC classification number: H01J37/06 , G01N23/2251 , G01N2223/418 , G01N2223/6116 , H01J37/145 , H01J37/1474 , H01J37/226 , H01J37/28 , H01J2237/2817
Abstract: 提出了一种具有尺寸、取向和入射角可变的总FOV的新多束装置。新装置提供了加速样本观察和使得更多样本可观察的更大灵活性。更具体地，作为在半导体制造工业中检查和/或审查晶片/掩模上的缺陷的产量管理工具，新装置提供了实现高吞吐量和检测更多种类的缺陷的更多可能性。
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公开(公告)号：CN101512717B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200780033271.5
申请日：2007-10-09
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/14
CPC classification number: H01J37/145 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/3174 , H01J2237/1205 , H01J2237/1405 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
Abstract: 在此公开了使用磁透镜层的电子柱。该电子柱包括使用永磁体聚集电子束的磁透镜层。所述磁透镜层包括支撑板、穿过支撑板形成的孔、以及沿孔排列并布置在支撑板上或插入支撑板中的永磁体。
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公开(公告)号：CN1794092A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200510126974.5
申请日：2005-11-29
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: H01J37/067 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/22 , H01J37/145 , H01J37/304 , H01J37/3174 , H01J2237/31776 , H01J2237/31777 , H01J2237/31781
Abstract: 本发明提供一种电磁聚焦装置和使用该电磁聚焦装置的电子束光刻系统，其能够通过移动极片的中心部分调节电磁场的均匀性。该电磁聚焦装置控制从电子束光刻系统的电子束发射器产生的电子束的路径。在该电磁聚焦装置中，磁场生成器形成真空室中的磁场，该真空室围绕出晶片安装于其中的空间。上和下极片分别穿透该真空室的顶和底壁，彼此面对地安装，且将形成在磁场生成器处的磁场施加到该真空室中。真空室中磁场的均匀性可以通过该上和下极片相对于该真空室的垂直移动来调节。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106165054A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580019322.3
申请日：2015-04-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/04 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/04 , H01J37/065 , H01J37/09 , H01J37/12 , H01J37/14 , H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/04756 , H01J2237/14
Abstract: 电子线装置中，难以受到外部干扰的影响且兼得高空间分辨率和高亮度。电子线装置中，例如在产生电子线的电子源(101)与使电子线聚集在试料(114)上的物镜之间，在电子源(101)侧配置高电压的射线管(110)，并在低物镜侧配置低电压的射线管(112)。由此，即使是具备能动地向试料泄漏磁场的类型的物镜的SEM，也能够维持空间分辨率同时实现高亮度化。
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公开(公告)号：CN102103967B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201010528249.1
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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公开(公告)号：CN102760628A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210125537.1
申请日：2012-04-26
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/244 , G01T1/20
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/145 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/04926 , H01J2237/2443 , H01J2237/24465
Abstract: 本发明涉及用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器。本发明涉及一种镜筒内反向散射电子检测器，该检测器放置于用于SEM的组合式静电/磁物镜中。将检测器形成为带电粒子敏感表面，优选为闪烁体盘（406），其充当电极面之一（110）从而形成静电聚焦场。在闪烁体中生成的光子由光子检测器（202，408）（比如光电二极管或者多像素光子检测器）检测。物镜可以配备有用于检测被保持与轴更接近的次级电子的另一电子检测器（116）。光导（204，404）可以用来赋予在光子检测器与闪烁体之间的电绝缘。
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公开(公告)号：CN102103967A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010528249.1
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/145
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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公开(公告)号：CN101379584B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200680044609.2
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT股份有限公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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