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公开(公告)号：CN103094053A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210442536.X
申请日：2012-11-08
Applicant: FEI公司
IPC: H01J49/46 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/3056 , H01J2237/043 , H01J2237/057 , H01J2237/1534
Abstract: 多元件静电西肯能量滤波器，其中向双极元件添加静电四极和六极激励。按照本发明的具有能够产生孔口处的线焦点的双极、四极和六极元件的组合的带电粒子能量滤波器降低空间电荷效应和孔口损坏。一个优选实施例允许滤波器充当共轭消隐系统。能量滤波器能够使能量扩展变窄，以便产生较小射束。
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