公开(公告)号：EP2182544A1

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：EP08168121.5

申请日：2008-10-31

Applicant: FEI COMPANY

Inventor： Oetelaar, van den., Johannes ,  Hermkens, Jorn ,  Dona, Pleun ,  Nederlof, Frank ,  Wondergem, Wim

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/185 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/204 ,  Y10S977/854

Abstract: A charged-particle optical system has a vacuum chamber (102) with a space (104) for accommodating a specific one (114) of multiple specimens in operational use. The microscope has a loader (106) with a part (108) that is moveable into and out of the space. The part is configured for attaching a specimen carrier (110), brought from outside the system, to a first holder (112) or to detach the carrier from the first holder and to remove the carrier from inside the system. The carrier accommodates a first specimen (114). The system has an interface (116) in a wall of the chamber for removably accommodating the first holder (112) or a second holder (118) with a second specimen (120) mounted thereon.

Abstract translation: 带电粒子光学系统具有一个具有空间（104）的真空室（102），用于在操作使用中容纳多个样本中的特定的一个（114）。 显微镜具有装载器（106），其具有能够进出空间的部分（108）。 该部件被构造成用于将从系统外部引出的检体托架（110）附接到第一保持器（112），或者将托架从第一保持器拆下并从系统内部移除托架。 载体容纳第一样本（114）。 该系统在室的壁中具有接口（116），用于可拆卸地容纳第一保持器（112）或具有安装在其上的第二样本（120）的第二保持器（118）。