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公开(公告)号：JP6253618B2
公开(公告)日：2017-12-27
申请号：JP2015162373
申请日：2015-08-20
Applicant: エフ イー アイ カンパニFei Company , エフ イー アイ カンパニFei Company
Inventor： アンコヴスキー マレク , アンコヴスキー マレク , ステヤスカル パベル , ステヤスカル パベル , ヴィスタベール トマース , ヴィスタベール トマース
IPC: G01N23/20 , G01N23/205
CPC classification number: G01N23/203 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J2237/2442 , H01J2237/2446 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/24495 , H01J2237/24585 , H01J2237/2555 , H01J2237/31745
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公开(公告)号：JP2016511926A
公开(公告)日：2016-04-21
申请号：JP2015557449
申请日：2014-02-14
Applicant: ユニフェルシテイト アントウェルペンUniversiteit Antwerpen , ユニフェルシテイト アントウェルペンUniversiteit Antwerpen , エフエーイー・カンパニーFei Company , エフエーイー・カンパニーFei Company
Inventor： ディルク・ファン・デイク , ウーヴェ・ルッケン , ホルガー・シュターク , サラ・バルス
IPC: H01J37/244 , G01N23/04 , H01J37/09 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/265 , G01N23/04 , G01N2223/0565 , G01N2223/612 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J2237/063 , H01J2237/1534 , H01J2237/2602 , H01J2237/2614
Abstract: ソフトマター対象物の高分解能電子顕微鏡観察を実行するための方法が記載されている。この方法は、ソフトマター対象物で散乱された熱散漫散乱電子の周波数帯域において実質的に一定の伝達関数を用いた球面収差補正を含む電子顕微鏡を用いてソフトマター対象物を照射することを含む。この方法は、そのソフトマターで散乱された熱散漫散乱(TDS)電子を検出すること、および、その熱散漫散乱電子からソフトマター対象物の像を導出するために、検出された熱散漫散乱電子を使用することを含む。【選択図】図1
Abstract translation: 描述了一种用于执行软物质对象的高分辨率电子显微镜方法。 该方法包括用电子显微镜照射软物质对象包括在所述热扩散散射由软物质对象散射电子频带使用恒定的传递函数基本上球面像差校正 。 该方法包括检测热漫散射（TDS）分散在软物质的电子，并且，为了从它的热扩散散射电子导出软物质对象的图像检测到的热扩散散射电子 包括使用。 点域1
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公开(公告)号：JP2017090460A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：JP2016219603
申请日：2016-11-10
Applicant: エフ イー アイ カンパニFei Company , Fei Co , エフ イー アイ カンパニFei Company
Inventor： BART JANSSEN , ERIK FRANKEN , MAARTEN KUIJPER , YU LINGBO
IPC: G01T1/24
CPC classification number: H04N5/349 , G01T1/247 , G06T3/4069 , H01L27/14659 , H04N5/378
Abstract: 【課題】位置感応型半導体検出器において、X線や荷電粒子の入射位置を推定する方法を提供する。【解決手段】位置感応型半導体検出器において、X線や荷電粒子で生成された電子・正孔対群の拡がりがピクセルサイズと同等か又ははるかに小さいとき、電子・正孔対群の拡がりから推定した位置は、ピクセルの中心及び角、さらに境界の中心への強いバイアスがあるため、位置をシフトすること、又は、電子をいくつかのサブピクセルに結び付けることにより、このバイアスを打ち消すよう補正する方法。【選択図】図1
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公开(公告)号：JP5690582B2
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：JP2010291758
申请日：2010-12-28
Applicant: エフ イー アイ カンパニFei Company , エフ イー アイ カンパニFei Company
Inventor： ケロッグ ショーン , ケロッグ ショーン , ミラー トム , ミラー トム , チャン ショウイン , チャン ショウイン , グラウペラ アンソニー , グラウペラ アンソニー , ビー マギン ジェイムス , ビー マギン ジェイムス , デリワッチャー トム , デリワッチャー トム
IPC: H01J27/16 , H01J37/08 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/16 , H01J2237/002 , H01J2237/006 , H01J2237/026 , H01J2237/038 , H01J2237/0815 , H01J2237/31749
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公开(公告)号：JP2015037079A
公开(公告)日：2015-02-23
申请号：JP2014160010
申请日：2014-08-06
Applicant: エフ イー アイ カンパニFei Company , Fei Co , エフ イー アイ カンパニFei Company
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/006 , H01J2237/2605 , H01J2237/262
Abstract: 【課題】環境制御型透過電子顕微鏡において、気体が誘起する分解能の劣化を低減する手段を提供する。【解決手段】分解能の劣化は試料114の電流密度の関数ではなく電子ビームの合計電流の関数であることから、環境制御型透過電子顕微鏡100の試料チャンバ138内での気体のイオン化が分解能劣化の原因と結論した。そこで、試料チャンバ138内に電場を印加し、イオン化された気体を除去して分解能の劣化を抑制した。電場は、強い場である必要はなく、たとえば試料チャンバ138において電源144を介して試料114にバイアス電圧を100Vほど印加することで十分である。或いは、試料チャンバ138内において、光軸104に対して垂直な電場を、電気的にバイアス印加されたワイヤ又は金網を光軸104を外した状態で設けることによって実現しても良い。【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供用于降低由环境控制型透射电子显微镜中的气体引起的分辨率劣化的方法。解决方案：由于分辨率劣化不是样品114的电流密度而是波束的总电流的函数 的电子，结论是分辨率劣化是由于环境控制型透射电子显微镜100的样品室138内的气体离子化。然后将电场施加到样品室138中，除去电离气体， 分辨率恶化减弱。 电场不需要是强场，例如，通过样品室138中的电源144向样品114施加约100V的偏置电压就足够了。否则，垂直于光学器件的电场 可以通过将电偏置的线或纱布离轴放置在去除样品室138中的光轴104的状态下来使用轴104。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2015001530A
公开(公告)日：2015-01-05
申请号：JP2014121183
申请日：2014-06-12
Applicant: エフ イー アイ カンパニFei Company , Fei Co , エフ イー アイ カンパニFei Company
Inventor： SCHAMPERS RUDOLF JOHANNES PETER GERARDUS , JOHANNES ANTONIUS HENGRICUS WILHELMUS GERARDS PERS , ANDREAS TEODORAS ENGELEN
CPC classification number: H01J37/20 , G01N1/28 , G01N1/42 , G02B21/32 , H01J37/26 , H01J37/315 , H01J2237/002 , H01J2237/2065 , H01J2237/31744 , H01J2237/31745
Abstract: 【課題】本発明は、約-137℃のガラス転移温度より低い温度のガラス状生体試料を、前記ガラス転移温度よりも低い温度に保たれているマイクロマニピュレータへ結合する方法に関する。【解決手段】従来技術に係る方法が、たとえばプロパン又は加熱されたニードル(抵抗加熱又はレーザーにより加熱された)と共にIBIDを用いた場合、本発明は、振動するニードルを用いて前記試料を局所的に融解する。前記振動を止めることによって、前記試料は凍結して前記マイクロマニピュレータへ結合する。前記の加熱された部分の熱容量は小さいので、ガラス状態にとどまる材料の量は多い。【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供将温度低于约-137℃的玻璃化转变温度的玻璃状生物样品与保持在低于玻璃化转变温度的温度下的显微操纵器组合的方法。解决方案：通过方法 这里公开的现有技术将使用IBID与丙烷或加热的针（通过电阻加热或激光加热）一起使用IBID，通过使用振动针局部熔化样品。 通过停止振动，将样品冷冻并与显微操纵器组合。 由于加热部件的热容量小，所以玻璃状态下剩余的材料量很大。
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公开(公告)号：JP5647365B2
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：JP2014075878
申请日：2014-04-02
Applicant: エフ イー アイ カンパニFei Company , エフ イー アイ カンパニFei Company
Inventor： ヤコバス ランベルトゥス ムルデルス ヨハネス , ヤコバス ランベルトゥス ムルデルス ヨハネス , テオドルス ヨハネス ペトルス ヘウルツ レムコ , テオドルス ヨハネス ペトルス ヘウルツ レムコ , ヒュベルタス フランシスカス トロンペナールス ペトルス , ヒュベルタス フランシスカス トロンペナールス ペトルス , ヘラルドゥス セオドール ボス エリック , ヘラルドゥス セオドール ボス エリック
IPC: H01J37/305 , H01J37/317
CPC classification number: C23C14/48 , G01N1/286 , G01N1/32 , H01J37/02 , H01J37/3053 , H01J37/3171 , H01J37/3178 , H01J2237/004 , H01J2237/006 , H01J2237/31732 , H01J2237/3174 , H01J2237/31742 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
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公开(公告)号：JP2014239039A
公开(公告)日：2014-12-18
申请号：JP2014116739
申请日：2014-06-05
Applicant: エフ イー アイ カンパニFei Company , Fei Co , エフ イー アイ カンパニFei Company
Inventor： UWE LUECKEN , REMCO SCHOENMAKERS , JOHANNES VAN DEN OETELAAR
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/046 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J2237/20207 , H01J2237/20228 , H01J2237/20235 , H01J2237/20264 , H01J2237/20285 , H01J2237/2802
Abstract: 【課題】本発明は改良された電子線トモグラフィ法に関する。電子線トモグラフィ法は、1枚の断層画像を生成するのに多数の画像−典型的には50〜100枚の画像−を必要とするので、時間のかかる処理である。【解決手段】本発明は、ステップ状ではなく連続的に試料を傾斜させることによって、この量の画像をはるかに迅速に取得するのに必要な時間を短くする方法を教示する。ここでステップ間での振動を抑制するのに必要な時間は不要となる。【選択図】図3
Abstract translation: 要解决的问题：为了通过解决电子束断层摄影是耗时的过程的问题来提供改进的电子束断层摄影，因为它需要大量图像（通常为50至100个图像）以产生一个断层图像。解决方案： 本发明提出了一种缩短所需时间的方法，通过不是逐步地但连续地倾斜样品而更快地获得该量的图像。 消除了在步骤之间抑制振动所需的时间。
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公开(公告)号：JP2014203827A
公开(公告)日：2014-10-27
申请号：JP2014075878
申请日：2014-04-02
Applicant: エフ イー アイ カンパニFei Company , Fei Co , エフ イー アイ カンパニFei Company
Inventor： JOHANNES JACOBUS LAMBERTUS MULDERS , REMCO THEODORUS JOHANNES PETRUS GEURTS , PETRUS HUBERTUS FRANCISCUS TROMPENAARS , ERIC GERARDUS THEODORE BOSS
IPC: H01J37/305 , H01J37/317
CPC classification number: C23C14/48 , G01N1/286 , G01N1/32 , H01J37/02 , H01J37/3053 , H01J37/3171 , H01J37/3178 , H01J2237/004 , H01J2237/006 , H01J2237/31732 , H01J2237/3174 , H01J2237/31742 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 【課題】透過電子顕微鏡用薄片試料をイオンミリングにより作製する方法であって、加工損傷によって生じるアモルファス層の厚さおよびイオンビームに用いられる金属イオン(例えば、Gaイオン)の試料への注入を低減することができる方法を提供する。【解決手段】試料200を荷電粒子ビーム(電子ビームまたはイオンビーム)206に平行となるように配置し、金属キャピラリ201から気体噴流(例えば、希ガス)207を試料へ導く。試料と金属キャピラリとの間に電源208により電圧を印加する。荷電粒子ビームを気体噴流に交差するように導いて気体噴流をイオン化させる。生成されたイオンは試料と金属キャピラリとの間に発生させた低い電界によって試料に照射され、試料を低エネルギーでミリングする。【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供通过离子研磨制造透射电子显微镜的薄样品的方法，其能够减少通过对样品进行损伤和注入而产生的非晶层的厚度的金属离子（例如，Ga离子 ）。解决方案：样品200平行于电荷粒子束（电子束或离子束）206排列。气体喷射流（例如，稀有气体）207从金属毛细管 201到样品。 通过电源208将电压施加到样品和金属毛细管之间。电荷粒子束被引导以穿过气体射流以离子化气体射流。 通过在样品和金属毛细管之间产生的低电场，用产生的离子照射样品，并以低能量研磨。
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公开(公告)号：JP5675692B2
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：JP2012107011
申请日：2012-05-08
Applicant: エフ イー アイ カンパニFei Company , エフ イー アイ カンパニFei Company
Inventor： ナドー，ジェイムズ，ピー , ゾウ，ペイ , アルジャヴァック，ジェイソン，エイチ
IPC: H01L21/302 , G11B5/31 , G11B5/455 , H01J37/317
CPC classification number: G11B5/3163 , H01J2237/3114
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