環境制御型透過電子顕微鏡の使用方法
    5.
    发明专利
    環境制御型透過電子顕微鏡の使用方法 有权
    使用环境控制型传输电子显微镜的方法

    公开(公告)号:JP2015037079A

    公开(公告)日:2015-02-23

    申请号:JP2014160010

    申请日:2014-08-06

    Abstract: 【課題】環境制御型透過電子顕微鏡において、気体が誘起する分解能の劣化を低減する手段を提供する。【解決手段】分解能の劣化は試料114の電流密度の関数ではなく電子ビームの合計電流の関数であることから、環境制御型透過電子顕微鏡100の試料チャンバ138内での気体のイオン化が分解能劣化の原因と結論した。そこで、試料チャンバ138内に電場を印加し、イオン化された気体を除去して分解能の劣化を抑制した。電場は、強い場である必要はなく、たとえば試料チャンバ138において電源144を介して試料114にバイアス電圧を100Vほど印加することで十分である。或いは、試料チャンバ138内において、光軸104に対して垂直な電場を、電気的にバイアス印加されたワイヤ又は金網を光軸104を外した状態で設けることによって実現しても良い。【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供用于降低由环境控制型透射电子显微镜中的气体引起的分辨率劣化的方法。解决方案:由于分辨率劣化不是样品114的电流密度而是波束的总电流的函数 的电子,结论是分辨率劣化是由于环境控制型透射电子显微镜100的样品室138内的气体离子化。然后将电场施加到样品室138中,除去电离气体, 分辨率恶化减弱。 电场不需要是强场,例如,通过样品室138中的电源144向样品114施加约100V的偏置电压就足够了。否则,垂直于光学器件的电场 可以通过将电偏置的线或纱布离轴放置在去除样品室138中的光轴104的状态下来使用轴104。

Patent Agency Ranking