公开(公告)号：HUT68508A

公开(公告)日：1995-06-28

申请号：HU9402942

申请日：1993-04-13

Applicant: FUSION SYSTEMS CORP

Inventor： DOLAN JAMES T ,  URY MICHAEL G ,  WOOD CHALES H ,  TURNER BRIAN ,  WAYMOUTH JOHN F

IPC: H01J61/18 ,  G03F7/20 ,  H01J7/24 ,  H01J9/395 ,  H01J61/02 ,  H01J61/04 ,  H01J61/12 ,  H01J61/20 ,  H01J61/24 ,  H01J61/38 ,  H01J61/52 ,  H01J61/54 ,  H01J61/82 ,  H01J61/88 ,  H01J65/04

公开(公告)号：HU9402942D0

公开(公告)日：1995-02-28

申请号：HU9402942

申请日：1993-04-13

Applicant: FUSION SYSTEMS CORP

Inventor： DOLAN JAMES T ,  URY MICHAEL G ,  WOOD CHALES H ,  TURNER BRIAN ,  WAYMOUTH JOHN F

IPC: H01J61/18 ,  G03F7/20 ,  H01J7/24 ,  H01J9/395 ,  H01J61/02 ,  H01J61/04 ,  H01J61/12 ,  H01J61/20 ,  H01J61/24 ,  H01J61/38 ,  H01J61/52 ,  H01J61/54 ,  H01J61/82 ,  H01J61/88 ,  H01J65/04