公开(公告)号：DE112018001385T5

公开(公告)日：2019-11-28

申请号：DE112018001385

申请日：2018-03-14

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： SUGIMOTO TATSUYA ,  KOTANI KYOSUKE ,  SUZUKI TOMOFUMI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HOSOKAWA NOBURO ,  INOUE NAO ,  ITO MASASHI ,  KURAMOTO YUTAKA

IPC: G02B26/06 ,  B81B3/00 ,  G01J3/45 ,  G01N21/35

Abstract: Ein Lichtmodul weist ein optisches Element und eine Basis auf, auf der das optische Element montiert ist. Das optische Element weist einen optischen Abschnitt mit einer optischen Fläche; einen elastischen Abschnitt, der derart um den optischen Abschnitt herum vorgesehen ist, dass ein ringförmiger Bereich gebildet wird; und ein Paar von Trägerabschnitten auf, die derart vorgesehen sind, dass der optische Abschnitt in einer ersten Richtung entlang der optischen Fläche sandwichartig aufgenommen wird und auf die eine elastische Kraft aufgebracht wird und zwischen denen sich in Abstand gemäß elastischer Verformung des elastischen Abschnitts verändert. Die Basis weist eine Hauptfläche und einen Montagebereich auf, in dem eine mit der Hauptfläche kommunizierende Öffnung vorgesehen ist. Die Trägerabschnitte werden in einem Zustand in die Öffnung eingesetzt, bei dem eine elastische Kraft des elastischen Abschnitts aufgebracht wird. Das optische Element wird in dem Montagebereich von einer Reaktionskraft des elastischen Kraft gelagert, die von einer Innenfläche der Öffnung auf die Trägerabschnitte in einem Zustand aufgebracht wird, bei dem die optische Fläche die Hauptfläche schneidet.

公开(公告)号：DE112018001339T5

公开(公告)日：2019-11-28

申请号：DE112018001339

申请日：2018-03-14

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： SUZUKI TOMOFUMI ,  KOTANI KYOSUKE ,  SUGIMOTO TATSUYA

IPC: G02B26/06 ,  B81B3/00 ,  G01J3/45 ,  G01N21/35

Abstract: Ein optisches Modul beinhaltet eine Basis, die eine Hauptfläche aufweist und in der ein Montagebereich und ein Fahrbereich zum Bewegen des Montagebereichs entlang einer ersten Richtung parallel zur Hauptfläche vorgesehen sind, einen beweglichen Spiegel, der eine Spiegelfläche mit einer Positionsbeziehung zum Überschneiden der Hauptfläche aufweist und in dem Montagebereich montiert ist, einen ersten festen Spiegel, der eine Spiegelfläche mit einer Positionsbeziehung zum Überschneiden der Hauptfläche aufweist und von dem eine Position in Bezug auf die Basis festgelegt ist, und eine Strahlteilereinheit, die ein erstes interferenzoptisches System zur Messung von Licht zusammen mit dem beweglichen Spiegel und dem ersten festen Spiegel darstellt. Die Spiegelfläche des beweglichen Spiegels und die Spiegelfläche des ersten festen Spiegels sind auf eine Seite in die erste Richtung gerichtet.

公开(公告)号：DE112018001325T5

公开(公告)日：2019-11-28

申请号：DE112018001325

申请日：2018-03-14

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： SUZUKI TOMOFUMI ,  SUGIMOTO TATSUYA ,  KOTANI KYOSUKE

IPC: G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  G01J3/45 ,  G01N21/35 ,  G02B26/06

Abstract: Ein optisches Modul beinhaltet eine Trägerschicht, eine Vorrichtungsschicht, die auf der Trägerschicht vorgesehen ist, und einen beweglichen Spiegel, der in der Vorrichtungsschicht montiert ist. Die Vorrichtungsschicht weist einen Montagebereich auf, in dem der bewegliche Spiegel montiert ist, und einen Fahrbereich, der mit dem Montagebereich verbunden ist. Zwischen der Trägerschicht und der Vorrichtungsschicht wird ein Raum gebildet, der mindestens dem Montagebereich und dem Fahrbereich entspricht. Der Montagebereich ist zwischen einem Paar elastischer Stützbereiche angeordnet, die im Fahrbereich enthalten sind, und wird von dem Paar elastischer Stützbereiche getragen.

公开(公告)号：DE112018001349T5

公开(公告)日：2019-11-21

申请号：DE112018001349

申请日：2018-03-14

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： SUZUKI TOMOFUMI ,  SUGIMOTO TATSUYA ,  KOTANI KYOSUKE

IPC: G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  G01J3/45 ,  G01N21/35 ,  G02B26/06

Abstract: Ein optisches Modul weist eine Trägerschicht, eine Vorrichtungsschicht, welche auf der Trägerschicht bereitgestellt ist, und einen bewegbaren Spiegel auf, welcher in der Vorrichtungsschicht montiert ist. Die Vorrichtungsschicht weist einen Montagebereich, welcher von dem bewegbaren Spiegel durchdrungen wird, und einen Antriebsbereich auf, welcher mit dem Montagebereich verbunden ist. Ein Raum entsprechend zumindest dem Montagebereich und dem Antriebsbereich ist zwischen der Trägerschicht und der Vorrichtungsschicht ausgebildet. Ein Teil des bewegbaren Spiegels ist in dem Raum positioniert.

公开(公告)号：EP3037792A4

公开(公告)日：2017-07-05

申请号：EP14837699

申请日：2014-07-31

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： SUZUKI TOMOFUMI ,  WARASHINA YOSHIHISA ,  KASAMORI KOHEI ,  SUGIMOTO TATSUYA ,  ITO JO

IPC: G01J3/45 ,  B81C1/00 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02051 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/4532 ,  G01J3/4535