公开(公告)号：DE112016000431T5

公开(公告)日：2017-10-19

申请号：DE112016000431

申请日：2016-02-08

Applicant: IBM

Inventor： CHENG JOY ,  CHUNDER ANINDARUPA ,  VORA ANKIT ,  TJIO MELIA ,  SANDERS DANIEL PAUL

IPC: C09D153/00 ,  C08L27/00 ,  C08L53/00 ,  C08L69/00 ,  H01L21/00

Abstract: Eine Filmschicht, die ein Block-Copolymer mit hohem chhi(χ)-Wert für eine Selbstorganisation und ein Hexafluoralkohol enthaltendes, oberflächenaktives Polymer (SAP) umfasst, wurde auf einer Substratoberfläche hergestellt, die gegenüber den Domänen des selbstorganisierten Block-Copolymers neutral benetzend war. Das Block-Copolymer umfasst mindestens einen Polycarbonatblock und mindestens einen anderen Block (z. B. einen substituierten oder unsubstituierten auf Styrol basierenden Block). Die Filmschicht, deren obere Oberfläche mit einer Atmosphäre in Kontakt steht, assembliert sich selbst, um ein lamellares oder zylindrisches Domänenmuster mit senkrechter Ausrichtung in Bezug auf die darunterliegende Oberfläche zu bilden. Andere Morphologien (z. B. Inseln und Löcher mit einer Höhe von 1,0 Lo) wurden mit Filmen erhalten, denen das SAP fehlte. Das SAP ist präferenziell mit der Domäne mischbar, die den Polycarbonatblock umfasst, und senkt deren Oberflächenenergie.

公开(公告)号：DE112016000431B4

公开(公告)日：2021-01-21

申请号：DE112016000431

申请日：2016-02-08

Applicant: IBM

Inventor： CHENG JOY ,  CHUNDER ANINDARUPA ,  VORA ANKIT ,  TJIO MELIA ,  SANDERS DANIEL PAUL

IPC: C09D153/00 ,  C08L27/00 ,  C08L53/00 ,  C08L69/00 ,  H01L21/00

Abstract: Zusammensetzung, umfassend:i) ein Lösungsmittel;ii) ein Block-Copolymer, das umfasst:a) einen ersten Block, der eine Wiederholungseinheit der Formel (B-1) umfasst:worin I) Rwein einwertiger Rest ist, der ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus H, Methyl, Ethyl und Trifluormethyl (*-CF3), und II) Rdein einwertiger Rest ist, der einen aromatischen Ring umfasst, der an Kohlenstoff 1 gebunden ist, undb) einen zweiten Block aus aliphatischem Polycarbonat (einen Polycarbonatblock), der an den ersten Block gebunden ist; undiii) ein oberflächenaktives Polymer (SAP), das eine Fluoralkohol-Wiederholungseinheit (HFA-Wiederholungseinheit) umfasst, die mindestens eine Hexafluorisopropylalkoholgruppe (HFA-Gruppe) umfasst, wobei die HFA-Gruppe eine Strukturaufweist;wobei das Block-Copolymer und das SAP in dem Lösungsmittel gelöst sind.