公开(公告)号：DE112016000431T5

公开(公告)日：2017-10-19

申请号：DE112016000431

申请日：2016-02-08

Applicant: IBM

Inventor： CHENG JOY ,  CHUNDER ANINDARUPA ,  VORA ANKIT ,  TJIO MELIA ,  SANDERS DANIEL PAUL

IPC: C09D153/00 ,  C08L27/00 ,  C08L53/00 ,  C08L69/00 ,  H01L21/00

Abstract: Eine Filmschicht, die ein Block-Copolymer mit hohem chhi(χ)-Wert für eine Selbstorganisation und ein Hexafluoralkohol enthaltendes, oberflächenaktives Polymer (SAP) umfasst, wurde auf einer Substratoberfläche hergestellt, die gegenüber den Domänen des selbstorganisierten Block-Copolymers neutral benetzend war. Das Block-Copolymer umfasst mindestens einen Polycarbonatblock und mindestens einen anderen Block (z. B. einen substituierten oder unsubstituierten auf Styrol basierenden Block). Die Filmschicht, deren obere Oberfläche mit einer Atmosphäre in Kontakt steht, assembliert sich selbst, um ein lamellares oder zylindrisches Domänenmuster mit senkrechter Ausrichtung in Bezug auf die darunterliegende Oberfläche zu bilden. Andere Morphologien (z. B. Inseln und Löcher mit einer Höhe von 1,0 Lo) wurden mit Filmen erhalten, denen das SAP fehlte. Das SAP ist präferenziell mit der Domäne mischbar, die den Polycarbonatblock umfasst, und senkt deren Oberflächenenergie.

公开(公告)号：DE102016219839A1

公开(公告)日：2017-04-27

申请号：DE102016219839

申请日：2016-10-12

Applicant: IBM

Inventor： ARELLANO NOEL ,  CHENG JOY ,  MAGBITANG TEDDIE P ,  PITERA JED W ,  SANDERS DANIEL P ,  SCHMIDT KRISTIN ,  TRUONG HOA D ,  VORA ANKIT

IPC: C08F293/00

Abstract: Blockcopolymere (BCPs) für Selbstorganisationsanwendungen, die eine lineare fluorierte Verknüpfungsgruppe L' aufweisen, die ein Paar von benachbarten Blöcken verbindet. Eine Dünnschicht, die ein BCP aufweist, das auf einer Unterschicht angeordnet ist und in Kontakt mit einer Atmosphäre steht, ist fähig, eine senkrecht ausgerichtete Domänenstruktur zu bilden, wenn die Unterschicht präferentiell von einer Domäne eines ansonsten identischen selbstorganisierten BCP benetzt wird, bei dem alle Fluoratome von L' durch Wasserstoff ersetzt sind. Das BCP kann ein BCP mit niedrigem chi-Wert oder mit hohem chi-Wert sein. Bei einer bevorzugten Ausführungsform weist das BCP einen ersten Block auf Styrolbasis auf und ein zweiter Block weist eine Carbonat- und/oder Ester-Wiederholungseinheit auf, die durch Ringöffnungspolymerisation eines cyclischen Carbonat- und/oder Estermonomers gebildet ist. Die Verknüpfungsgruppe L' weist eine niedrigere Oberflächenenergie als jeder der Polymerblöcke auf.

公开(公告)号：DE112016000431B4

公开(公告)日：2021-01-21

申请号：DE112016000431

申请日：2016-02-08

Applicant: IBM

Inventor： CHENG JOY ,  CHUNDER ANINDARUPA ,  VORA ANKIT ,  TJIO MELIA ,  SANDERS DANIEL PAUL

IPC: C09D153/00 ,  C08L27/00 ,  C08L53/00 ,  C08L69/00 ,  H01L21/00

Abstract: Zusammensetzung, umfassend:i) ein Lösungsmittel;ii) ein Block-Copolymer, das umfasst:a) einen ersten Block, der eine Wiederholungseinheit der Formel (B-1) umfasst:worin I) Rwein einwertiger Rest ist, der ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus H, Methyl, Ethyl und Trifluormethyl (*-CF3), und II) Rdein einwertiger Rest ist, der einen aromatischen Ring umfasst, der an Kohlenstoff 1 gebunden ist, undb) einen zweiten Block aus aliphatischem Polycarbonat (einen Polycarbonatblock), der an den ersten Block gebunden ist; undiii) ein oberflächenaktives Polymer (SAP), das eine Fluoralkohol-Wiederholungseinheit (HFA-Wiederholungseinheit) umfasst, die mindestens eine Hexafluorisopropylalkoholgruppe (HFA-Gruppe) umfasst, wobei die HFA-Gruppe eine Strukturaufweist;wobei das Block-Copolymer und das SAP in dem Lösungsmittel gelöst sind.

公开(公告)号：SG11201705648TA

公开(公告)日：2017-08-30

申请号：SG11201705648T

申请日：2016-02-18

Applicant: AZ ELECTRONIC MAT (LUXEMBOURG) S À R L ,  IBM

Inventor： VORA ANKIT ,  HIRAHARA ERI ,  CHENG JOY ,  BASKARAN DURAIRAJ ,  POLISHCHUK OREST ,  TJIO MELIA ,  PAUNESCU MARGARETA ,  SANDERS DANIEL ,  LIN GUANYANG

IPC: C08F293/00 ,  B82Y30/00

Abstract: The present invention relates to a novel block copolymer of structure 1, wherein, A- is a block polymer chain, B is a block polymer chain, wherein, A- and B- are chemically different, covalently connected polymer chains, which are phase separable and the moiety X(Y(Z)b)a is a junction group, which comprises a surface active pendant moiety Y(Z)b wherein: a is an integer from 1 to 4 denoting the number of surface active pendant moieties Y(Z)b on X, b is an integer from 1 to 5 denoting the number of Z moieties on the linking moiety Y, X is a linking group between the A polymer block, the B polymer block and the moiety Y, Y is a linking group or a direct valence bond between X and Z; and Z is a moiety independently selected from, a fluorine containing moiety, a Si1-Si8 siloxane containing moiety or a hydrocarbon moiety with at least 18 carbons, and further wherein the junction group X(Y(Z)b)a has a surface energy less than that that of the block A and less than that of the block B. The invention also relates to a composition comprising the novel copolymer and its use in direct self-assembly processes.