公开(公告)号：SG102613A1

公开(公告)日：2004-03-26

申请号：SG200100695

申请日：2001-02-08

Applicant: IBM

Inventor： JUDITH M RUBINO ,  CHRISTOPHER JAHNES ,  ERIC G LINIGER ,  JAMES GARDNER RYAN ,  CARLOS J SAMBUCETTI ,  FRANK CARDONE ,  SAMPATH PURUSHOTHAMAN ,  JOHN ANTHONY FITZSIMMONS ,  STEPHEN MCCONNELL GATES

IPC: C22F1/10 ,  C22C19/00 ,  C22F1/00 ,  H01L21/28 ,  H01L21/31 ,  H01L21/314 ,  H01L21/316 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/324 ,  H01L21/76 ,  H01L21/768 ,  H01L23/52 ,  H01L23/522 ,  H01L23/532