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1.发明申请SULFONAMIDE-CONTAINING TOPCOAT AND PHOTORESIST ADDITIVE COMPOSITIONS AND METHODS OF USE 审中-公开含有磺酰胺的TopCOAT和光催化剂添加剂组合物及其使用方法
公开(公告)号：WO2011101259A2
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：PCT/EP2011051564
申请日：2011-02-03
Applicant: IBM , IBM UK , CENTRAL GLASS CO LTD , SANDERS DANIEL PAUL , FUJIWARA MASAKI , TERUI YOSHIHARU
Inventor： SANDERS DANIEL PAUL , FUJIWARA MASAKI , TERUI YOSHIHARU
IPC: G03F7/11
CPC classification number: C09D133/16 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041
Abstract: Provided are sulfonamide-containing compositions, topcoat polymers, and additive polymers for use in lithographic processes that have improved static receding water contact angles over those known in the art. The sulfonamide-containing topcoat polymers and additive polymers of the present invention include sulfonamide-substituted repeat units with branched linking group as shown in Formula (I).
Abstract translation: 提供了与本领域已知的相比，具有改进的静态后退水接触角的用于光刻工艺的含磺酰胺的组合物，面漆聚合物和添加剂聚合物。 本发明的含磺酰胺的面漆聚合物和添加剂聚合物包括具有支链连接基团的磺酰胺取代的重复单元，如式（I）所示。
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公开(公告)号：WO2011101260A3
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：PCT/EP2011051565
申请日：2011-02-03
Applicant: IBM , IBM UK , CENTRAL GLASS CO LTD , SANDERS DANIEL PAUL , FUJIWARA MASAKI , TERUI YOSHIHARU
Inventor： SANDERS DANIEL PAUL , FUJIWARA MASAKI , TERUI YOSHIHARU
CPC classification number: G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041 , G03F7/322 , G03F7/325
Abstract: Provided are sulfonamide-containing photoresist compositions for use in lithographic processes that have improved properties for high resolution, low blur imaging. Also provided are alcohol- soluble photoresists for resist-on-resist applications. The sulfonamide- containing photoresist compositions of the present invention include positive-tone photoresist compositions that have sulfonamide-substituted repeat units with branched linking group as shown in Formula (I).
Abstract translation: 提供了用于平版印刷方法的含磺酰胺的光刻胶组合物，其具有用于高分辨率，低模糊成像的改进性质。 还提供用于抗蚀剂抗蚀剂应用的醇溶性光刻胶。 本发明的含磺酰胺的光刻胶组合物包括正式光刻胶组合物，其具有式（I）所示的具有支化连接基团的磺酰胺取代的重复单元。
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公开(公告)号：DE112011100590B4
公开(公告)日：2021-10-28
申请号：DE112011100590
申请日：2011-02-03
Applicant: CENTRAL GLASS CO LTD , IBM
Inventor： SANDERS DANIEL PAUL , FUJIWARA MASAKI , TERUI YOSHIHARU
Abstract: Positiv-Fotoresist-Zusammensetzung, umfassend ein Polymer, einen Fotosäuregenerator (PAG) und ein Lösungsmittel, wobei der PAG Sulfonate, Oniumsalze, aromatische Diazoniumsalze, Sulfoniumsalze, Diaryliodoniumsalze und Sulfonsäureester von N-Hydroxyamiden oder N-Hydroxyimiden umfasst, wobei das Polymer eine erste Wiederholungseinheit, die eine Sulfonamidgruppe und eine verzweigte Verknüpfungsgruppe aufweist, gemäß Formel (XII) umfasst,und eine zweite Wiederholungseinheit, die eine mit einer säurelabilen Schutzgruppe geschützte saure Gruppe enthält, umfasst, wobei:R28unabhängig ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Wasserstoff, Fluor, Methyl und Trifluormethyl; undR29fluoriertes C1-C12-Alkyl ist.
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公开(公告)号：SG184847A1
公开(公告)日：2012-11-29
申请号：SG2012076105
申请日：2011-04-28
Applicant: IBM , CENTRAL GLASS CO LTD
Inventor： SANDERS DANIEL PAUL , HEDRICK JAMES LUPTON , YASUMOTO MANABU , FUJIWARA MASAKI
Abstract: A one pot method of preparing cyclic carbonyl compounds comprising an active pendant pentafluorophenyl carbonate group is disclosed. The cyclic carbonyl compounds can be polymerized by ring opening methods to form ROP polymers comprising repeat units comprising a side chain pentafluorophenyl carbonate group. Using a suitable nucleophile, the pendant pentafluorophenyl carbonate group can be selectively transformed into a variety of other functional groups before or after the ring opening polymerization.
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公开(公告)号：DE112011100578B4
公开(公告)日：2022-09-22
申请号：DE112011100578
申请日：2011-04-28
Applicant: CENTRAL GLASS CO LTD , IBM
Inventor： SANDERS DANIEL PAUL , HEDRICK JAMES LUPTON , YASUMOTO MANABU , FUJIWARA MASAKI
IPC: C07D319/04 , C07D317/36 , C08G64/30
Abstract: Verbindung, umfassend:eine erste cyclische Carbonylverbindung der allgemeinen Formel (2):wobei jedes Y ein zweiwertiger Rest ist, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus -O-,n' 0 oder 1 ist, wobei, wenn n' 0 ist, die mit 4 und 6 gekennzeichneten Kohlenstoffe durch eine Einfachbindung miteinander verbunden sind,jede Q'-Gruppe ein einwertiger Rest ist, unabhängig ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Wasserstoff, Alkylgruppen, umfassend 1 Kohlenstoff, und den vorstehend genannten Q'-Gruppen, substituiert mit einer Pentafluorphenylcarbonatgruppe, und wobeieine der Q'-Gruppen eine Pentafluorphenylcarbonatgruppe umfasst.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：MX352767B
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：MX2012002864
申请日：2011-04-28
Applicant: IBM
Inventor： SANDERS DANIEL PAUL , HEDRICK JAMES LUPTON , MANABU YASUMOTO , FUJIWARA MASAKI
IPC: C07D317/36 , C07D319/04 , C08G64/30
Abstract: Se describe un método en recipiente único para preparar compuestos de carbonilo cíclico que comprenden un grupo de pentafluorofenilcarbonato colgante activo. Los compuestos de carbonilo cíclico pueden ser polimerizados por métodos mediante abertura de anillo para formar polímeros ROP que comprendan unidades repetidas que comprenden un grupo pentafluorofenilcarbona to de cadena secundaria. Al usar un nucleófilo adecuado, el grupo de pentafluorofenilcarbonato colgante puede ser selectivamente transformado en una variedad de otros grupos funcionales antes o después de la polimerización mediante abertura de anillo.
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公开(公告)号：DE112011100591T5
公开(公告)日：2013-01-17
申请号：DE112011100591
申请日：2011-02-03
Applicant: CENTRAL GLASS CO LTD , IBM
Inventor： FUJIWARA MASAKI , SANDERS DANIEL PAUL , TERUI YOSHIBARU
Abstract: Es werden Sulfonamid-enthaltende Zusammensetzungen, Deckschicht-Polymere und Zusatzstoff-Polymere für die Verwendung bei lithographischen Verfahren bereitgestellt, die verbesserte statische rückziehende Wasser-Kontaktwinkel gegenüber den im Stand der Technik bekannten aufweisen. Die Sulfonamid-enthaltenden Deckschicht-Polymere und Zusatzstoff-Polymere gemäß der vorliegenden Erfindung umfassen Sulfonamid-substituierte Wiederholungseinheiten mit einer verzweigten Verknüpfungsgruppe, wie in Formel (I) gezeigt:
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公开(公告)号：GB2489612A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：GB201207369
申请日：2011-02-03
Applicant: IBM
Inventor： SANDERS DANIEL PAUL , FUJIWARA MASAKI , TERUI YOSHIHARU
IPC: C08L33/14 , C08L33/04 , C08L33/08 , C08L33/10 , C09D133/04 , C09D133/08 , C09D133/10 , C09D133/14 , G03F7/11
Abstract: Provided are sulfonamide-containing compositions, topcoat polymers, and additive polymers for use in lithographic processes that have improved static receding water contact angles over those known in the art. The sulfonamide-containing topcoat polymers and additive polymers of the present invention include sulfonamide-substituted repeat units with branched linking group as shown in Formula (I).
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公开(公告)号：AU2011247542B2
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：AU2011247542
申请日：2011-04-28
Applicant: CENTRAL GLASS CO LTD , IBM
Inventor： SANDERS DANIEL PAUL , HEDRICK JAMES LUPTON , YASUMOTO MANABU , FUJIWARA MASAKI
IPC: C07D317/36 , C07D319/04 , C08G64/30
Abstract: A one pot method of preparing cyclic carbonyl compounds comprising an active pendant pentafluorophenyl carbonate group is disclosed. The cyclic carbonyl compounds can be polymerized by ring opening methods to form ROP polymers comprising repeat units comprising a side chain pentafluorophenyl carbonate group. Using a suitable nucleophile, the pendant pentafluorophenyl carbonate group can be selectively transformed into a variety of other functional groups before or after the ring opening polymerization.
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公开(公告)号：GB2493877A
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：GB201221302
申请日：2011-04-28
Applicant: IBM , CENTRAL GLASS CO LTD
Inventor： SANDERS DANIEL PAUL , HEDRICK JAMES LUPTON , YASUMOTO MANABU , FUJIWARA MASAKI
IPC: C07D319/04 , C07D317/36 , C08G64/02 , C08G64/30
Abstract: A one pot method of preparing cyclic carbonyl compounds comprising an active pendant pentafluorophenyl carbonate group is disclosed. The cyclic carbonyl compounds can be polymerized by ring opening methods to form ROP polymers comprising repeat units comprising a side chain pentafluorophenyl carbonate group. Using a suitable nucleophile, the pendant pentafluorophenyl carbonate group can be selectively transformed into a variety of other functional groups before or after the ring opening polymerization.
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