公开(公告)号：JPS59117214A

公开(公告)日：1984-07-06

申请号：JP22338383

申请日：1983-11-29

Applicant: Ibm

Inventor： FURETSUCHIYAA JIYOONZU ,  HENRII RUDORUFU BUOERUKAA

IPC: G03F7/20 ,  H01J37/317 ,  H01L21/027

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/2022 ,  G03F7/7045 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/31771 ,  Y10S430/143

公开(公告)号：JPS5662247A

公开(公告)日：1981-05-28

申请号：JP14068980

申请日：1980-10-09

Applicant: IBM

Inventor： ARI ABUIRAMU ,  DONARUDO KURIFUOODO HOFUAA ,  FURANKU BENJIYAMIN KOOFUMAN ,  SUTEIIBUN ROBAATO KURAMAA ,  JIEEN MAAGARETSUTO SHIYOU ,  MAIKERU HATSUZAKISU ,  FURETSUCHIYAA JIYOONZU

IPC: G03F7/004 ,  G03C1/675 ,  G03C5/00 ,  G03C5/16 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302

公开(公告)号：JPS6358834A

公开(公告)日：1988-03-14

申请号：JP15991687

申请日：1987-06-29

Applicant: IBM

Inventor： FURETSUCHIYAA JIYOONZU ,  JIYOSEFU SUKINAA ROOGAN

IPC: H01L21/302 ,  C23C14/34 ,  H01J37/32 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31

公开(公告)号：JPS5984518A

公开(公告)日：1984-05-16

申请号：JP14679983

申请日：1983-08-12

Applicant: IBM

Inventor： FURETSUCHIYAA JIYOONZU

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/317