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发明专利
未知

公开(公告)号：DE59309969D1

公开(公告)日：2000-04-13

申请号：DE59309969

申请日：1993-05-28

Applicant: IBM

Inventor： BAYER THOMAS , GRESCHNER DR DIPL-PHYS , MEISSNER KLAUS , STOEHR ROLAND

IPC: H01L21/18 , H01L21/20 , H01L21/58 , H01L21/762 , G01R1/073 , H01L21/76

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