公开(公告)号：JPS613411A

公开(公告)日：1986-01-09

申请号：JP2214385

申请日：1985-02-08

Applicant: IBM

Inventor： HAABAATO RUDORUFU ANDAASON JIY ,  HAABANSU SHIN SACHIDEBU ,  KURISHIYUNA GANJII SACHIDEBU

IPC: H01L21/3205 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/768 ,  H05K3/04

公开(公告)号：JPS60178082A

公开(公告)日：1985-09-12

申请号：JP26101384

申请日：1984-12-12

Applicant: IBM

Inventor： KURISHIYUNA GANJII SACHIDEBU ,  HAABANSU SHIN SACHIDEBU ,  ARI ABUIRAMU ,  MAAKU ARAN UITSUNAA

IPC: B41M5/392 ,  B41J31/00 ,  B41J31/02 ,  B41M5/26 ,  G01D15/10

公开(公告)号：JPS62191460A

公开(公告)日：1987-08-21

申请号：JP200387

申请日：1987-01-09

Applicant: IBM

Inventor： HAABAATO RUDORUFU ANDAASON JIY ,  KONSUTANSU JIYOON ARAPUSU ,  RENAKA SHIYASUTORI DEIBUAKARUN ,  DANIERU PATORITSUKU KAABII ,  ROBAATO UORUFU NIYUFUAA ,  HAABANSU SHIN SACHIDEBU ,  KURISHIYUNA GANJII SACHIDEBU ,  TAABA SARIYANARAYANA ,  SUTOOYAN MASHIASU ZARAA

IPC: C03C10/00 ,  C04B35/622 ,  C04B35/628 ,  C04B35/63 ,  C04B35/632 ,  C04B35/634 ,  H01L21/48 ,  H05K1/03

公开(公告)号：JPS62185325A

公开(公告)日：1987-08-13

申请号：JP29264986

申请日：1986-12-10

Applicant: IBM

Inventor： MAAKU SUCHIIBUN CHIEESU ,  MANI RAMU GIYUPUTA ,  RANII WAIIRINGU KUONGU ,  HAABANSU SHIN SACHIDEBU ,  KURISHIYUNA GANJII SACHIDEBU

IPC: H01L21/302 ,  G03F7/075 ,  G03F7/09 ,  H01L21/027 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768

公开(公告)号：JPS60142545A

公开(公告)日：1985-07-27

申请号：JP24256884

申请日：1984-11-19

Applicant: IBM

Inventor： HAABANSU SHIN SACHIDEBU ,  KURISHIYUNAN SACHIDEBU

IPC: H01L21/312 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/498 ,  H01L23/522 ,  H01L23/532