公开(公告)号：DE3750937D1

公开(公告)日：1995-02-16

申请号：DE3750937

申请日：1987-06-16

Applicant: IBM

Inventor： BRUNSVOLD WILLIAM ROSS ,  CROCKATT DALE MURRAY ,  CHOW MING-FEA ,  FRECHET JEAN-MARIE JOSEPH ,  CONLEY WILLARD EARL ,  HEFFERSON GEORGE JOSEPH ,  ITO HIROSHI ,  IWAMOTO NANCY ELLEN ,  WILLSON CARLTON GRANT

IPC: G03C1/72 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

公开(公告)号：DE3750937T2

公开(公告)日：1995-07-13

申请号：DE3750937

申请日：1987-06-16

Applicant: IBM

Inventor： BRUNSVOLD WILLIAM ROSS ,  CROCKATT DALE MURRAY ,  CHOW MING-FEA ,  FRECHET JEAN-MARIE JOSEPH ,  CONLEY WILLARD EARL ,  HEFFERSON GEORGE JOSEPH ,  ITO HIROSHI ,  IWAMOTO NANCY ELLEN ,  WILLSON CARLTON GRANT

IPC: G03C1/72 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

公开(公告)号：ES2065882T3

公开(公告)日：1995-03-01

申请号：ES87108644

申请日：1987-06-16

Applicant: IBM

Inventor： BRUNSVOLD WILLIAM ROSS ,  CROCKATT DALE MURRAY ,  CHOW MING-FEA ,  FRECHET JEAN-MARIE JOSEPH ,  CONLEY WILLARD EARL ,  HEFFERSON GEORGE JOSEPH ,  ITO HIROSHI ,  IWAMOTO NANCY ELLEN ,  WILLSON CARLTON GRANT

IPC: G03C1/72 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027